6月25日15时,郑州合晶硅材料有限公司(简称“郑州合晶”)首根8英寸单晶硅棒拉制完成并顺利取棒,这标志着该项目试生产成功,并为下一步量产奠定了坚实基础。
在长晶车间,被工人拉制出来的单晶硅棒如一支巨大的铅笔,两米余长,呈圆柱体形状,浑身成银灰色,闪闪发光。郑州合晶长晶生产车间负责人李古圣介绍说,单晶硅棒是生产单晶硅片的关键性步骤,对生产设备和工艺有着严格的要求,需经过40余小时连续不间断的高温拉制才能“出炉”,后期经过切磨、表面处理、抛光等200多道工序制成单晶硅片,然后用于“芯片”的衬底片。
郑州合晶硅单晶抛光片生产项目位于郑州航空港实验区南部高端制造业集聚区,于2017年7月27日开工建设,在省、市、区相关部门的高度重视和支持下,项目建设按照节点如期推进,时隔仅11个月已完成首根8英寸晶棒的拉制,预计下半年送样量产,成为国内硅晶圆片重要的产能基地。
“单晶硅棒项目的落地投产,将吸引更多上下游关联企业落户当地,逐步形成产业链和产业集群,有力促进郑州航空港实验区产业转型升级和经济社会发展。”郑州合晶总经理陈春霖表示。
据悉,郑州合晶硅单晶抛光片生产项目总投资53亿元,占地153亩,主要建设200毫米、300毫米硅材料衬底片和外延片生产基地。项目共分两期实施,一期产能为200毫米硅材料衬底片20万片/月。项目全部建成后预计年产值20亿元,将极大改变我国半导体集成电路产业晶圆硅片长期依赖进口的局面,优化半导体集成电路产业发展环境,促进半导体产业发展。同时也将为河南半导体集成电路行业发展奠定坚实基础,对推进航空港实验区高端制造业及半导体集成电路产业发展具有重要战略意义。
郑州合晶为上海合晶全资子公司,兴港投资下属产业引导基金——兴港融创基金通过增资入股形式持有上海合晶37.6%股权。该项目的实施充分发挥了产业投资基金“通渠引流”的带动效应,有助于利用金融资本优势推动优质项目落地实验区,进一步丰富实验区产业业态,加速推动实验区形成以产兴城、以城带产、产城并进的发展格局。
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