真空系統應用中，被抽取的氣體不單單包括應用工藝中產生的各種氣體，還包括的系統中原有的大氣空氣等，那總體來說都有哪些呢，今天小編來為您理一理。
1、真空系統工藝過程中產生的氣體
它包括工藝過程中材料放出的氣體以及工藝需要而引入的氣體，同時真空系統中液體或固體蒸發的氣體也包含其中。不同的工藝過程以及不同的被處理材料，這部分氣體的量的計算都是不同的。
2、真空系統內原本存在的大氣氣體
真空系統中真空容器室、真空管路等，這些原本就含有一定量的大氣氣體成分，在抽氣初期，它們是真空系統抽氣的主要氣體負荷，也是被系統最早抽走的。
3、真空系統中的洩漏氣體
洩漏氣體包括大氣通過真空密封的連接處以及各種漏隙通道洩漏進入真空系統內部的氣體。對於確定的真空系統來說，洩漏的氣體量是一個常數。不同的真空系統應用、不同的極限壓力，對洩漏氣體的量也有嚴格的限制。
4、真空系統中各種材料表面解吸釋放出來的氣體
常壓下，真空系統中的材料表面會吸附、溶解部分氣體。在負壓狀態下，這部分氣體會被重新釋放出來。它的放氣流量與材料性能、處理工藝以及材料表面狀態有關。
5、真空系統外大氣通過器壁材料滲透到系統內的氣體
以上5個方面就構成了真空系統的總的抽氣負荷。
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