光刻機上游核心材料就是福晶科技的KBBF晶體

全世界只有中國有技術採集到激光固態6倍頻的深紫外線相干光。


深紫外線相干光的獲得方法有三種,同步輻射光源,準分子激光器,和固態激光倍頻晶體
前面兩種很多國家都有技術做,但是得到的深紫外線相干光有很多缺點,比如同步輻射不能小型化,做出來的機器很大,無法應用到小型的科研設備比如光電子譜儀,光電顯微鏡等。193nm光刻機就是個例子。。。很大,而且得到的光束單色性不好,要獲得特定狹帶寬波長的效率過低。準分子激光器怎是光束的線寬、模式達不到應用儀器的要求,而且操作十分不便。
因此全世界之前都在致力於利用固態激光照射晶體截取倍頻相干光來得到固態,穩定並且能小型化的深紫外線相干光。這種晶體就是kbbf晶體,而中國的科學家許祖彥是全世界首個通過稜鏡耦合技術採集到全固態激光6倍屏(177,3nm)深紫外線相干光的人。
這個技術是真正的頂級核心技術。是對美“出口管制”的,有了全固態激光6倍屏(177,3nm)深紫外線相干光,就能應用到很多科學儀器上,光譜儀,顯微鏡,光刻機。。等等。

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