來自廣東地方媒體的報道，中芯國際深圳工廠在近日成功的接收了一臺光刻機，該光刻機通過出口加工區場站兩道閘口進入廠區。
根據此前中芯國際官方的透露，目前中芯國際深圳工廠正在全力進行生產，這臺新到貨的光刻機將用於復產後的生產線擴容。從多方面資料的分析來看，這臺機器應該是用於生產14nm製程芯片的，並不是此前大家都希望看到的7nm DUV甚至是7nm EUV工藝。
目前中芯國際最有可能能夠引進到的最新光刻機是ASML的第一代7nm DUV工藝光刻機，至於更加先進的7 nm EUV工藝光刻機，目前無論是ASML還是其股東英特爾、三星和臺積電都不希望賣給中芯國際。
其實中芯國際早在2018年就向ASML訂購了一臺EUV光刻機，雙方計劃的是2019年初交付設備。然而，這臺光刻機的交付之路可謂崎嶇多舛，目前來看，ASML已經放棄了向中芯國際交付7nm EUV光刻機計劃。
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