上海:中國集成電路產業的一面旗幟

近兩年,廈門、合肥、南京、武漢等成為國內新興集成電路城市,一時間風頭無兩、萬眾矚目,但在國內集成電路產業地圖上,上海才是最璀璨的那顆明星。

作為中國大陸三大集成電路龍頭城市之一,上海市見證了中國大陸第一條8英寸生產線、第一條完全由國資控股的12英寸生產線、國內第一家集成電路上市公司的誕生,在中國大陸集成電路產業中的地位舉足輕重。

一、發展歷程

上海市集成電路的發展歷程可追溯至60年前。

1958年10月,上海市開始籌建上海半導體廠,1959年初正式成立上海半導體廠,成為國內最早從事半導體器件研製和生產的專業工廠之一,1960年更名為上海元件五廠,並於1965年1月試製成功硅平面小功率三極管2G200,1966年底召開產品鑑定會,鑑定了一種採用國際上通用的PN結隔離技術的TTL型數字電路。

60年代~70年代間,上海市相繼建起了一批集成電路工廠,包括上海無線電十九廠、上海無線電十四廠、上海無線電七廠等,70年代時期上海無線電十九廠與北京八七八廠並稱“南北兩霸”,上海市集成電路工業生產初步形成,自力更生地生產各種小規模集成電路。

國家改革開放後,80年代我國集成電路從自力更生走向技術引進、中外合資階段。

1988年上海市儀表局與上海貝爾公司合資設立上海貝嶺微電子製造有限公司,這是國內集成電路產業的第一家中外合資企業,建成中國大陸第一條4英寸芯片生產線;同一年,中荷合資成立上海飛利浦半導體公司,即後來的上海先進半導體制造股份有限公司。

1995年電子工業部向國務院提出了《關於“九五”期間加快集成電路產業發展的報告》,國家決定實施“909工程”——在上海浦東建設一條8英寸、0.5微米技術起步、月加工2萬片的超大規模集成電路生產線。

1996年11月,上海華虹微電子有限公司超大規模集成電路芯片生產線奠基儀式舉行,隨後與日本電氣公司(NEC)於1997年7月合資成立“909工程”的項目主體上海華虹NEC電子有限公司,建立起中國大陸第一條8英寸生產線、並於1999年2月正式投片。

1998年,上海貝嶺股份有限公司在國內A股上市,成為國內集成電路產業領域第一家上市公司。

接下來,2000年~2010年被稱為上海市集成電路產業發展的“黃金十年”。

2000年4月,中芯國際集成電路製造(上海)有限公司成立,接著上海新進半導體制造有限公司(2001年)、展訊通信有限公司(2001年)、上海宏力半導體制造有限公司(2003年)、銳迪科微電子有限公司(2004年)等紛紛成立,一時間掀起在上海掀起集成電路產業發展浪潮。

2007年12月,中芯國際的12英寸生產線建成投產,上海進入12英寸生產線建設時代;2008年中芯國際90納米CMOS工藝研發成功,隨後於2009年、2010年分別開發成功65納米、55納米工藝。

2010年1月,“909工程”升級項目的建設運營主體上海華力微電子有限公司成立,開工建設了中國大陸第一條完全由國資控股的12英寸生產線。

在這十年間,上海市構建起相對完整的集成電路產業鏈條,成為全國集成電路產業重要聚集區。近兩年,隨著晶圓製造相關重大項目頻頻落地,上海市集成電路產業邁上新的發展階段。

2016年10月,中芯國際新建“12英寸集成電路先進工藝生產線”項目啟動,兩個月後,總投資387億元的“909工程”二次升級改造項目——由上海華力微建設運營的“12英寸先進工藝集成電路生產線”也正式開工。

二、產業規模與結構

上海市集成電路產業整體規模僅次於江蘇省,位列全國第二。

據上海市經信委數據顯示,2016年上海市集成電路產業規模首次突破千億元大關,達到1053億元人民幣,同比增長10.76%。

今年7月3日,上海市集成電路行業協會發布《2018年上海集成電路產業白皮書》,2017年上海集成電路產業實現銷售收入1180.62億元,同比增長12.2%,這是繼2014年以來上海集成電路產業銷售規模連續4年實現兩位數增長。

同樣來自上海市集成電路行業協會的最新數據,根據其對上海市180家集成電路主要企業的跟蹤統計,2018年上半年上海集成電路產業銷售收入合計519.47億元,同比增長5%。

產業結構方面,上海市已形成了集設計、製造、封測、材料、裝備及其他配套、服務於一體的完整集成電路產業鏈,是國內集成電路產業鏈相對最為完整、產業結構最均衡的城市。

近年來,上海市集成電路產業結構更趨優化合理,由曾經以封測業為主導轉向以設計業和製造業為主導的產業結構,同時裝備材料業也正在高速發展,基本形成設計、製造、裝備材料“三足鼎立”之勢。

設計業

自2011年開始,上海市集成電路設計業營收呈現逐年攀升,2016年設計業營收首次超過封測業,成為上海市集成電路產業龍頭環節。

據《2018年上海集成電路產業白皮書》數據,2017年上海集成電路設計業銷售額達437億元,佔產業鏈比重為37.1%,而上海市集成電路行業協會的最新數據顯示,2018年上半年上海市集成電路設計業銷售收入為175.2億元,佔產業鏈比重33.73%

上海市經信委表示,2017年上海市集成電路設計企業共239家,相比2016年增加24家,其中銷售收入過億元的共有50家,超10億元的共8家。

上海:中國集成電路產業的一面旗幟

在中國半導體行業協會發布的2017年中國集成電路設計十大企業名單中,上海市共有3家企業入列,僅次於全國設計業龍頭深圳,其中紫光展銳排名第2、華大半導體排名第4、格科微排名第9。

從技術水平上看,上海市邏輯電路主流設計技術為40-28-16/14nm,先進設計技術已進入10nm、7nm設計技術正在研發;數模混合電路、模擬電路等設計技術在國內均處於領先行列。

如紫光展銳2017年推出14nm8核64位LTESoC智能手機芯片,在5G領域亦率先完成了5G原型機開發,其5G芯片目前進展順利,預計將於2019年實現商用,基本與國際水平保持同步。

再如上海兆芯,其是國內唯一同時掌握CPU、GPU、Chipset三大技術的國產CPU公司,搭載兆芯國產通用CPU的電腦整機已入圍多個省市的政府採購項目。

2、製造業

在製造業方面,上海市可謂見證了我國集成電路製造業的一步步艱難突破,在全國具有絕對優勢。

上海市集成電路行業協會秘書長蔣守雷在接受媒體採訪時表示,2017年上海市集成電路製造業銷售額達280億元,佔產業鏈比重約24%。而該協會的最新數據顯示,2018年上半年上海市集成電路製造業銷售額達143.14億元,佔產業鏈比重27.55%,已超越封測業。

上海:中國集成電路產業的一面旗幟

上海市聚集了包括中芯國際、華虹宏力、先進半導體、華力微電子等一系列國內集成電路核心製造企業,據全球半導體觀察此前統計,包括正在興建中的晶圓廠,在中國現有的35座主流晶圓廠中,上海就佔據了11座,包括4座12英寸廠、7座8英寸廠。

其中,12英寸晶圓廠集中在中芯國際和華力微,這兩家企業現有12英寸晶圓廠各一座、在建12英寸晶圓廠各一座,8英寸晶圓廠則集中於中芯國際、華虹宏力、臺積電、先進半導體等幾家企業。

中芯國際是我國目前第一大晶圓代工廠,代表著中國大陸集成電路製造業最先進水平,目前中芯國際已量產28nm製程,14nm製程工藝預計於2019年量產,同時中芯國際還在同步開展10nm和7nm製程工藝技術研發。

目前,中芯國際新建的“12英寸集成電路先進工藝生產線”項目及上海華力微的“12英寸先進工藝集成電路生產線”正在緊鑼密鼓建設中,這兩大項目將為上海市集成電路製造業再添輝煌。

製造業是整個集成電路產業鏈的發展中樞,對上服務生產設計企業,對下帶動原材料和設備企業,上海市集成電路在製造業領域的優勢將進一步帶動產業鏈聯動,助力形成良好產業生態。

3、封測業

上海市集成電路封測業從規模上看並不小,但其佔產業鏈比重正在逐漸降低。

上海市集成電路行業協會數據顯示,2018年上半年上海市封測業的銷售收入為131.53億元,低於設計業和製造業,佔產業鏈比重為25.32%。

上海市的封測企業有上海凱虹、晟碟半導體、安靠、星科金朋、松下半導體、日月光等,其中大多為外商投資及國際知名IDM或封測企業的子公司,因此在封測技術發展方面發言權相對較弱。

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4、設備材料業

在設備材料領域,上海市同樣在我國集成電路產業寫下重要篇章。

《2018年上海集成電路產業白皮書》顯示,2017年上海集成電路產業設備材料業也利潤增幅高達95.7%,其中設備業2017年實現銷售收入82.68億元,同比增長111.9%。

白皮書指出,上海設備材料製造業已經走出初創階段的發展路程,成功進入到“產品進入市場,市場引領企業;研發帶動創新,創新推進發展”的雙邊發展新階段。

上海市集成電路行業協會的最新數據,2018年上半年上海市集成電路設備材料業的銷售收入為69.6億元,佔產業鏈比重為13.40%。

雖然營收和佔比均不及其他三業,但上海市設備材料業在國內的影響力可不小。上海市擁有中微半導體、上海微電子裝備、盛美半導體、上海凱世通等國內知名設備廠商,以及上海新陽、上海新昇、上海安集微電子、上海新傲科技等一眾材料企業。

上海:中國集成電路產業的一面旗幟

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其中,中微半導體是國內技術最領先的集成電路設備企業之一,主要深耕刻蝕機領域,研製出中國大陸第一臺電介質刻蝕機,目前中微半導體的介質刻蝕設備、硅通孔刻蝕設備、MOCVD設備等均已成功進入海內外重要客戶供應體系,如其介質刻蝕設備已打入臺積電的7nm、10nm量產線,成功打破了國際巨頭的壟斷。

目前中微半導體刻蝕設備零部件國產化率已超過35%,已開發了20多個國內的反應器和系統主機加工等供應廠商,加工能力和質量達到了國際先進水平,截至2017年底,已有620多箇中微半導體生產的刻蝕反應臺運行在海內外39條先進生產線上。

再如上海微電子裝備,同樣是國內不可忽視的集成電路設備廠商。上海微電子裝備是國內少數光刻機生產商之一,其生產的光刻機包括晶圓製造、IC封裝、面板、LED等,其中封裝光刻機在國內市場已佔據不小的份額,是國內技術最先進的光刻機研製生產單位。

上海微電子裝備“十五”期間承擔了國家863重大科技專項任務掃描投影光刻機的研製任務,“十一五”和“十二五”期間被國家確定為02專項高端掃描投影光刻機研製和先進封裝光刻機產業化的承擔單位,其首臺先進封裝光刻機於2009年實現銷售,上海微電子目前可生產加工90nm工藝製程芯片的光刻機,這是目前國產光刻機最高水平。

目前,上海微電子裝備正在承擔國家科技重大專項02專項在“十三五”期間的標誌性項目“28nm節點浸沒式分步重複投影光刻機研發成功並實現產業化”等。

材料領域,上海新昇是國內首個300mm大硅片項目的承擔主體,目前其正片已通過了華力微電子的認證並實現每月2000片的銷售,項目計劃總產能為60萬片每月,預計今年年底將達月產能10萬片。

相信業內人士均有所瞭解,我國在300mm大硅片領域基本空白、完全依賴進口,上海新昇作為300mm大硅片國產化的排頭兵,該項目的建設及量產出售等均對於國內集成電路材料業具有較大意義。

三、人才建設體系

作為我國較早發展且產業鏈最完整的集成電路城市,上海已建立了較為完整的集成電路人才教育及培訓體系。

上海市擁有復旦大學、上海交通大學、同濟大學、華東師範大學、上海大學等一眾高等院校,其中復旦大學微電子學院是首批國家集成電路人才培養基地之一、國家集成電路人才國際培訓(上海)基地,具有豐富的集成電路人才培養經驗和雄厚的產學聯合基礎;

上海交通大學微電子學院同樣是首批國家集成電路人才培養基地之一,承擔了國家科技重大專項、國防重點、科技863重點項目等多個科研項目,形成了以系統級芯片設計、模擬與射頻芯片設計為主的兩個重點學科方向;

其他多個高等院校也設有集成電路相關專業及研究方向,如同濟大學有電子科學與技術系、超大規模集成電路研究所、微電子中心等院系與部門;華東師範大學有電子工程系,集中研究集成電路設計、新型半導體器件與材料和微電子機械系統(MEMS);上海大學設有微電子研究與開發中心,專門研究與開發大規模集成電路設計、培養微電子學與固體電子學方向的碩士、博士人才等。

除了高等院校外,上海市還擁有上海集成電路研發中心、上海硅知識產權交易中心、上海集成電路行業協會、上海集成電路技術與產業促進中心、上海集成電路測試專業技術服務平臺等公共服務機構。

這些公共服務平臺在積極推動集成電路產業人才培訓的同時,也與國內外知名院校或企業合作建設人才培訓機構。

如上海集成電路研發中心與國際光刻機巨頭ASML在上海合作共建國內第一個世界級光刻人才培訓基地,今年5月已正式揭牌。上海集成電路行業協會也聯手華虹集團、上海硅知識產權交易中心,共同建設上海集成電路行業協會高技能人才培養基地……

四、政策與基金

上海市集成電路產業的健康發展,離不開政府的政策推動及基金支持。

2000年,上海市政府發佈《關於本市鼓勵軟件產業和集成電路產業發展的若干政策規定》,政策通過稅收優惠、補貼獎勵等多種方式鼓勵發展軟件及集成電路。

隨後2012年,上海市政府印發《關於本市進一步鼓勵軟件產業和集成電路產業發展的若干政策》,隨後浦東新區人民政府也發佈了《進一步鼓勵產業和集成電路產業發展的若干政策》,進一步擴大產業政策的優惠範圍和獎勵力度。

2017年,上海市政府再次發佈《關於本市進一步鼓勵軟件產業和集成電路產業發展的若干政策》,這是在2012年發佈的政策基礎上,進一步聚焦支持上海集成電路領域重大項目建設、自主創新技術研發、企業培育和專業人才培養及引進等方面。

上海市政府還編制併發布了《軟件和集成電路專項資金管理》、《上海集成電路工程產品首輪流片專項獎勵實施細則》等相關配套實施細則。

在相關政策接踵出臺的同時,2016年年底上海集成電路產業投資基金成立,基金總規模500億元,分為100億元的裝備材料基金、100億元的設計基金、300億元的製造基金。

2017年7月,繼100億設計業併購基金和300億製造業基金之後 ,總規模100億元的上海集成電路裝備材料基金正式簽約,這標誌著上海500億元集成電路產業基金工作已全面啟動。

五、小結

整體上看,相較於江蘇省的封測先行、深圳的設計為優,上海更注重謀求產業結構的完整均衡,就國內各大城市而言,上海集成電路產業鏈最為完備,產業鏈各個環節均有所亮點,且無明顯短板,這樣的均衡發展助力產業鏈各環節間的協同聯動,形成較好的產業生態。

如今全國範圍內掀起集成電路發展熱潮,上海市集成電路產業經過十年輝煌及近年來的穩定發展期後,未來的3~5年或將迎來重大發展機遇和轉型,有望朝著更大規模、更具創新性、更具引領作用等方向突破。

根據《上海促進電子信息製造業發展“十三五”規劃》,上海市的目標是力爭2020年集成電路產業規模達到2000億元,將通過提升產業發展戰略,塑造設計、製造、裝備材料三大支柱,拓展產業發展模式,打造IDM模式的產業第三極等發展手段,推進集成電路產業發展。

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