隨著20世紀60年代初激光的出現，幾何量測量技術的發展步入了嶄新的時期，激光干涉儀在此時脫穎而出，並且在幾何量測量領域發揮著越來越重要的作用。激光干涉儀為何如此廣受歡迎呢？今天我們就來認識幾何量測量擔當——激光干涉儀。
原理
激光干涉儀原理圖
一個角錐反射鏡緊緊固定在分光鏡上，形成固定長度參考光束。另一個角錐反射鏡相對於分光鏡移動，形成變化長度測量光束。
從激光頭射出的激光光束①具有單一頻率，標稱波長為633nm，長期波長穩定性（真空中）優於0.05ppm。當此光束到達偏振分光鏡時，被分成兩束光——反射光束②和透射光束③。這兩束光被傳送到各自的角錐反射鏡中，然後反射回分光鏡中，在嵌於激光頭中的探測器中形成干涉光束④。
如果兩光程差不變化，探測器將在相長干涉和相消干涉的兩端之間的某個位置觀察到一個穩定的信號。
如果兩光程差發生變化，每次光路變化時探測器都能觀察到相長干涉和相消干涉兩端之間的信號變化。這些變化（條紋）被數出來，用於計算兩光程差的變化。測量的長度等於條紋數乘以激光波長的一半。
功能應用
激光干涉儀具有實現線性、角度、直線度、垂直度、迴轉軸等幾何量的檢測功能。可以檢測數控機床、三座標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位精度、重複定位精度等；同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、直線度和垂直度；並可以校準機床的迴轉軸。
數控機床精度檢測及補償
線性模組/電動滑臺/直線電機等定位精度檢測
自動化設備調校
三座標垂直度測量
代表品牌
目前國產唯一大規模商用的激光干涉儀品牌型號為中圖儀器SJ6000,主要技術指標如下：
測量方式：單頻
穩頻精度：±0.05ppm
動態採集頻率：50 kHz
預熱時間：約8分鐘
工作溫度範圍：(0～40)℃
存儲溫度範圍：(-20～70)℃
環境溼度：(0～95)%RH
測量距離：(0～80)m
測量精度：±0.5ppm (0～40)℃
測量分辨力：1nm
測量最大速度：4m/s。
SJ6000激光干涉儀
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