爲什麼全世界只有荷蘭能夠製造頂級的光刻機?

一德格天1


眾所周知,光刻機是芯片生產過程所需的核心設備,這種高精度光機電一體化設備,研發過程是沒有什麼捷徑可走的,精度只能一步步提升。現在市面上最先進的光刻機的確只有荷蘭能造,已經能夠製造7nm以下製程的芯片,質量最好且每年產量相當有限,預約都已經排在幾十年後,可以說達到了有錢也買不到的珍稀程度。

ASML是全球最頂尖的光刻機生產商,也是世界唯一一家的高端光刻機制造商,幾乎壟斷了這個行業。這家專門生產光刻機的荷蘭企業,是從著名電子製造商飛利浦獨立出來的一個公司,出身名門,且背後集中了無數資源和豐富的研發經驗,擁有近乎完美的德國機械工藝以及世界頂級光學廠商德國蔡司鏡頭,再加上美國提供的光源使得ASML公司的光刻機發展迅速。

ASML的光刻機中超過90%的零件都是向外採購的,能夠在整個設備的不同部位同時獲得世界上最先進的技術,ASML還不斷整合客戶需求,為獲取競爭優勢掌握了核心技術,在EUV光刻技術上擁有世界第二的專利申請量。ASML還擁有獨特的合作經營模式,就是投資ASML才能夠獲得優先供貨權,比如英特爾、三星、臺積電、海力士都在ASML中有相當可觀的股份,大家資源共享風險平攤,形成了半導體行業龐大的利益共同體。

由於西方國家之間技術可以共享,即使不共享也可以購買,但對於中國來說,ASML高端的光刻機對中國是禁售的,中國只能買到ASML的中低產品,這造成了目前中國半導體工藝難以提升上去。自主創新比任何時候都重要,我們只能靠自己。


天方燕談


荷蘭ASML公司在光刻機市場,特別是高端光刻機市場長期佔據著壟斷地位。那麼全世界為什麼只有荷蘭才能夠製造頂級的光刻機?

為什麼連美國、德國、日本這些科技專精的國家都沒有一家企業能夠與荷蘭ASML公司匹敵?有書君認為有以下原因:

1、研發費用

已經有高起點的ASML每年將營業收入15%用於研發,而2017年在光刻機投入研發費用高達約97億人民幣。

如今只能仰望ASML的尼康和佳能雖然曾經在光刻機上實力強勁,但是高研發費用也讓這兩家公司犯愁而不得不選擇放棄光刻機高端研發。

而ASML在研發費用上另闢蹊徑,仗著自己無可取代的90%市場份額佔有率,降低光刻機的產能來吸引各方投資。

使得光刻機的研發過程不會出現資金斷鏈的情況,而投資方也能得到優先購買權。

因為研發費用ASML從來不需太過考慮,所以ASML總是在研發路上走得比別人快。

在我國光刻機只能製造出90nm以製程的芯片時,ASML已經制造出7nm以下製程和低於5nm精度工藝的NXT2000i。

2、專注光刻機領悟

1984年荷蘭飛利浦面臨經營困境而裁員,ASML在那年從飛利浦獨立出來。

因為飛利浦什麼領域都想涉獵,導致最後解體。

於是ASML吸取教訓,34年來專注研發光刻機技術,而沒有涉足芯片或其它領域。

多年的沉澱下來的關鍵技術,造就了ASML在光刻機一方霸主的地位。

ASML最先進的EUV高達1億美元,但是卻是大家搶破頭也難買到的珍品,ASML單就一款產品就可以直接壟斷了高端光刻機的市場。

這是ASML長期專注所帶來的成果。

3、資源共享的科技發展圈

歐洲科技發展模式為資源共享型,在認為荷蘭ASML公司已經有足夠先進的技術後,就不會再花費太多精力在研發光刻機上。

歐洲其它國家不僅不跟荷蘭搶佔光刻機市場,還為ASML提供光刻機重要的元器件。

德國提供了光學組件,美國提供了激光組件,英法提供芯片和軟件,連日本也提供了光刻膠以及化工原料。

在這樣的氛圍下,ASML只需要專注於光刻機技術的研發,並回報給歐洲其它國家想要的先進光刻機,就能夠實現各方互利共贏的局面。

4、收購公司,互補技術缺陷。

ASML在2007年以2.7億美元收購了美國計算光刻領跑者Brion,Brion致力於檢測光刻缺陷及提出相應修正解決方案。

2012年ASML又以26億美元收購了世界領先的準分子激光源提供商Cymer,使得新型光刻機極紫外(EUV)研發進度加快。

2016年ASML以1000億收購了世界最大的專營電子束檢測技術的HMI,因為HMI可以互補ASML的曝光技術。

這樣一個集多方力量支持又在研發路上漸行漸遠的ASML是很難超越的。

有書君認為,這樣的ASML如果一直保持這個態勢,而其它國家不爭不搶,那麼ASML繼續壟斷高端光刻機,甚至搶佔100%市場份額也不是不可能。

如今,中國正在研發28nm製程的光刻機,希望在2019年進口了ASML的EUV光刻機後,中國研發團隊能夠研發出更精進的光刻機,打破ASML獨佔高端光刻機的局面。

有書君語:對此問題你有什麼不同的見解呢?歡迎在下方留言評論,別忘給有書君點個贊哦~關注有書君,私信回覆句子,有書君送你一句特別的話!


有書共讀


首先,ASML在光刻機領域是無可爭議的世界霸主。

↑光刻機是芯片生產中必不可少的設備↑

ASML是一家荷蘭公司,又叫阿斯麥,是一家專門生產光刻機的企業。所謂的光刻機,是生產芯片的最為關鍵的設備之一。具體光刻機是用來幹什麼的,可以參考我之前寫的一篇答案:

《生產芯片用的蝕刻機和光刻機有什麼區別?》地址是:https://www.wukong.com/question/6545436431743975687/

↑神一樣的ASML的光刻機↑

這家公司可以說是世界上最頂尖的光刻機生產商,而且即便是世界第二也已經被遠遠甩在了後面,現在其最先進的EUV(極紫外光)光刻機已經能夠製造7nm以下製程的芯片了,單臺光刻機的售價已經超過了一億美元,而且還不是現貨。

相比之下,中國完全自主生產的光刻機只有可憐的90nm製程,差了一大截。

那麼為什麼荷蘭這麼小的一個國家可以擁有這麼頂級的企業呢?

原因一:ASML出身名門。

ASML並不是一家白手起家的公司,而是從著名電子製造商飛利浦獨立出來的一個公司,背後肯定有相關的人員、經濟上的資助。

原因二:不拘一格降人才。

與我們想象中不同,ASML的光刻機中超過90%的零件都是向外採購的,這與他原來的對手,尼康和佳能是完全不同的。正是因為這樣的政策,使得他們能夠在整個設備的不同部位同時獲得世界上最先進的技術,而他們自身也可以騰出手來在部件整合和客戶需求上做文章,從而在日新月異的芯片製造行業取得競爭優勢。

而這種高新技術行業馬太效應特別明顯,一旦有一點差距,很快就會迅速拉大。

原因三:對核心技術的掌握。

最先進的EUV光刻技術,ASML擁有世界第二的專利申請量,說明即便是廣泛地外包零件,他們依然對核心技術有著不懈的追求。

↑蔡司也是ASML的合作伙伴,負責光學模組的生產↑

原因四:獨特的合作模式。

ASML有一個非常奇特的規定,

那就是隻有投資ASML,才能夠獲得優先供貨權,意思就是要求他自己的客戶要先投資自己才行。這樣奇特的合作模式使得ASML獲得了大量的資金,包括英特爾、三星、臺積電、海力士都在ASML中有相當可觀的股份,可以說大半個半導體行業都是ASML一家的合作伙伴,形成了龐大的利益共同體——就算是技術研發出現了失誤,英特爾擠擠牙膏就好了,並不會威脅到ASML的市場佔有率。

而且不僅僅是來自合作伙伴的資金支持,更多的還有技術支持。比如說剛剛提到了ASML在EUV光刻技術上擁有世界第二的專利申請量,而世界第一是德國的蔡司公司,第三是韓國的海力士公司,而這兩家公司都是ASML的合作伙伴。

中國相關企業可以學習什麼?

我覺得可以從以下幾個角度來借鑑ASML成功的經驗:

1)充分利用國內的資金和政策支持。比如說阿里已經投身AI芯片研發、華為海思則在芯片領域已經耕耘許久——而中興事件也給了他們一個教訓,不可對外國的支持太過於依賴,而這種不安全感、對技術的追求和海量的研發資金和人才儲備,都是可以充分利用的資源;

2)分散進攻,不搞大包大攬。一些零件可以外包,甚至於可以暫時使用國外的零件、日後再尋求替代,總之就是不把複雜的光刻機的全部壓力放在一家企業上,而是利用整個國家、甚至於全世界的資源。

3)不忘初心,始終堅持自主研發和進口替代。一定要堅持掌握核心技術,有些東西雖然暫時可以有國外產品應用,但是人無遠慮必有近憂,不能放棄對自主研發和核心技術的不懈追求。

最後,還是希望中國在芯片行業可以獲得發展,日後不必再受到國外的制約。


SilentTurbine


荷蘭的ASML是全球頂級的光刻機制造商,目前已經佔據全球80%以上的市場份額,目前以三星、臺積電、英特爾等頂尖芯片製造商基本都是採購其設備,其最先進的EUV光刻機NXE 3350B售價超一億美元,基本是等同一架波音737的價格。做製造竟然也能達到這樣的水平,這可是我們這樣的製造大國夢寐以求的哇。 芯片的設備和材料作為半導體產業的上游,相比較高達數萬億的芯片產業,其規模僅為800多億,但是核心特點是是技術門檻高,同時作為芯片發展的制高點,直接影響芯片產業的發展節奏和速度。以ASML為例,光刻機對於芯片製程技術的迭代起到核心作用,臺積電的7nm製程工藝作為目前市面最先進的技術,就是應用ASML的設備。目前全球的十大半導體設備製造商也是被美國、日本和荷蘭三國壟斷。


一方面,半導體產業鏈廣泛,同時很多細分領域需要技術和資本多重驅動,因此這個行業想做到大而全的難度可想而知。回到ASML,其是從飛利浦中獨立出來,專注於發展光刻技術,底子雄厚。全球員工中,研發超6000人,佔比30%以上。並不斷在光刻細分領域投資併購,如 2007年收購美國光刻檢測商Brion,在2013年收購紫外光源龍頭 Cymer, 2016年入股光學鏡片龍頭德國蔡司,不斷鞏固其在光刻上的領先優勢。
其次,相較於尼康及佳能等採用內部研發多數零部件與技術,ASML採取部件外包與技術合作開發策略,使得其能夠專注於核心技術與客戶需求,方案的彈性與效率高。如2007年,ASML配合臺積電的技術研發方向,推出193nm光源的浸沒式系統,顯著提升其蝕刻精度,並一舉壟斷市場。

最後,考慮半導體設備本身技術門檻高,且市場的空間相比較產業鏈的下游也不突出。因此,其他半導體巨頭本來在這一細分領域並無優勢,考慮風險和收益,自己花大代價投入並不划算。同時,因為是高精密行業,直接關乎下游芯片的質量,在已經出現行業巨頭的情況下,其他公司也不敢貿然拿自己做實驗。與其自研,不如入股ASML,來保證自己的設備供應。


科技向令說


上海科技報科普問答主持人:主任記者吳苡婷


美國不允許向中國企業中興集團銷售芯片以來,國內對於集成電路產業的關注程度不斷提高。光刻機是集成電路產業中的一個非常重要的裝備,它的功能是將芯片設計師完成的電路結構複製到硅片上。沒有電路結構的硅片只是一片硅片,而有了複雜了電路結構的硅片才能被稱為是芯片,這些電路結構是非常複雜的,就像是多層的城市立交橋一般,縱橫交錯,有時候多達10多層,甚至是20多層。這個光刻的過程需要極其精準和嚴密。光刻機的機械動作要精確到誤差僅以皮秒(兆分之一秒)計,關鍵零部件瑕疵大小僅能以皮米(奈米的千分之一)計。


所以高端光刻機號稱是世界上最精密的儀器,顯示的是國家制造業的尖端水平,世界上頂尖的光刻機只有在荷蘭和日本有賣,以荷蘭ASML、日本Nikon和日本Canon三大品牌為主。其中荷蘭ASML佔據了全球高端光刻機的90%,荷蘭的光刻機已經能夠製造7nm以下製程的芯片,但是它們的光刻機要出售給哪個國家需要獲得美國商務部的同意。

中國科學家正在不斷超越,現在上海微電子已經能生產中端光刻機,目前可以製造90nm以下製程的芯片,雖然還有很大差距,但是已經有了很大的飛躍。



荷蘭的ASML並不是一家橫空出世的高端企業,它出身名門,是從著名電子製造商飛利浦獨立出來的一個公司,它掌握著最先進的EUV光刻技術,同時擁有是集成創新的能力,荷蘭的ASML公司90%的零件都是向外採購的,英特爾、三星、臺積電、海力士等芯片製造企業都在ASML佔有股份。


科壇春秋精選


荷蘭有個艾司摩爾,ASML,亦可音譯為阿斯麥,總部位於艾恩德霍芬(Veldhoven),從不關注科技之人,可能根本不知道世上還有這麼一個叫艾恩德霍芬的城市,荷蘭才多大呀對吧,4.1萬多平方公里,1700多萬人,可是這個國家2017年的GDP高達9000多億美元,人均48253美元,科技創新的投入位列世界第二,是老牌的帝國,今天典型的發達國家,沒問題,人們可以不知道艾恩德霍芬城,但知艾司摩爾,世界最先進的光刻機技術,就操之它的手裡,它是製造芯片的關鍵設備,艾司摩爾人說,無論走到哪,全球半導體的製程就在哪。2002年中國上微(SMEE)成立,遣人去學習,他們說的話非常刺激,就是把全套的圖紙給了你們,也做不出來。如今一套最先進的7納米EUV光刻機價格高達1億美元,比一架波音737都貴,已穩控世界8成光刻機市場。噫,人家如何做到的呢?

神乎其神。擁有科技人員6000一公司,90%的關鍵設備均自外來,有德國的光學技術設備和超精密機械,以及其它核心配件,有美國的計量設備和光源設備,ASML要做的精密控制。錢自外來,主要的三家,英特爾、三星和臺積電,利益共享。不能說沒有荷蘭什麼事,它做的工作也自不少,包括《瓦森納協定》,必須嚴格遵照執行,2015年可以向中國出口65納米以下的光刻機了,阿彌託佛。德國米銥也成為中國上微的合作伙伴,有錢誰不賺。今年初ASML也開啟了向中國出口7納米之路,為啥?留待下一個問題再說。7納米極紫外線光刻機,分為13個系統,3萬個分件,作動時每一分都要精準,換言之,可以把誤差分散到13個分系統中,德國的蔡司光學設備做得不準,美國Cymer光源不精,ASML頓時便會失去精神,所以ASML的責任僅僅在於,用好這些傢伙什,使之更加精確,遠沒一些人吵吵得那麼神乎。

上邪!如今光刻機國際市場,也算上微一個,它屬於中國,說些高尖端光刻機的事,目前已經做得夠好,但差距應在十年以上,要在分系統的一些關鍵設備仍依賴進口,比如德國的蔡司鏡片,一塊就要數萬美元,只是以其鏡片打底而已,打底的當然還要去打磨,2018屬於中國的9納米光刻機正式下線,成為實現超精密機械與測控技術領域尖端系統控制的國家之一,成本也只有艾司摩爾幾分之一,所以現在要面向中國出口了呢,這正像當年索尼和松下不得不向中國插標賣首一樣,你沒技術就受到永遠限制,上微的老總講,圖紙並非大關鍵,關鍵是每一分都要精準,這個卻難。2015年“十二五”科技成就展,中國的光刻機加工精度只有90納米,卻得以與大飛機、登月車並列,生產出的芯片也就是奔4的水準,而艾司摩爾這一技術當時卻是十幾個納米。但是我們並不害怕,三年以後取得的進步可以說是神一樣,眼下要全面突破的正是7納米光刻機技術。讀一讀漢代這首樂府詩,大長我中華精神,我們是不信邪的,祖訓如此。

長命無絕衰。持之不懈的堅持,正為密訣,其實再複雜的技術來自積累,如我們對鏡片的加工,蔡司具有上百年之功,我們不過剛剛開始。國家投入重金搞研發,錢是一回事,創新才是靈魂,關鍵的還是人,急需的是能工巧匠,如蔡司的傳承,一家幾代都是打磨鏡片的,有多少不傳之密,正是核心的核心,難得的是撲下身去代代相傳,俯首於電光火石之間,去探究那小小的硅片極其細微的溝壑紋理,世界最精密最微小的裝備上,浸泡著中國的未來,它的難度,上微人好有一比,兩架移動的飛機上,一飛機向另一架飛機的米粒上刻字,精度是一根頭髮絲的千分之一,難不難呢?上微1100多員工為證,大國工匠一倚其中,他們現在的年齡,平均34歲,正是幹大事,出成果的好時候,此時不拼,更待何時。江水為竭,冬雷震震,何時天地相合,而得與君絕,好詩好氣魄,二千年前的古人如斯,今者風流,那也是不懼的。


魂舞大漠


光刻機是芯片製造的核心設備之一,按照用途可以分為好幾種:有用於生產芯片的光刻機;有用於封裝的光刻機;還有用於LED製造領域的投影光刻機。

在高端光刻機上,除了龍頭老大荷蘭的ASML,尼康和佳能也曾做過光刻機,而且尼康還曾經得到過Intel的訂單。但是近些年,尼康在ASML面前被打的毫無還手之力,高端光刻機市場基本被荷蘭的ASML佔據。

  光刻機需要體積小,但功率高而穩定的光源。ASML的頂尖光刻機,使用波長短的極紫外光,光學系統極複雜。

  “十二五”科技成就展覽上,上海微電子裝備公司(SMEE)生產的中國最好的光刻機,與中國的大飛機、登月車並列。它的加工精度是90納米,國外已經做到了十幾納米。

用於生產芯片的光刻機是中國在半導體設備製造上最大的短板,國內晶圓廠所需的高端光刻機完全依賴進口。中國與國外是有很大的差距的。國內現在主要依靠進口。

製作光刻機的工藝複雜。光刻機跟照相機差不多,它的底片,是塗滿光敏膠的硅片。電路圖案經光刻機,縮微投射到底片,蝕刻掉一部分膠,露出硅面做化學處理。製造芯片,要重複幾十遍這個過程。

  位於光刻機中心的鏡頭,由20多塊鍋底大的鏡片串聯組成。鏡片得高純度透光材料+高質量拋光。SMEE光刻機使用的鏡片,得數萬美元一塊。

  那為啥頂級光刻機被荷蘭的ASML壟斷呢?一個原因它是進入製作光刻機行業比較早,積累並研發了許多關鍵技術,重要的配件如鏡片必須是超高精度磨而成的。ASML使用的鏡片是德國蔡司技術打底。鏡片材質做到均勻,需幾十年到上百年技術積澱。SMEE總經理曾一針見血地指出“同樣一個鏡片,不同工人去磨,光潔度相差十倍。”,他在德國看到,拋光鏡片的工人,祖孫三代在同一家公司的同一個職位。這就不難理解,荷蘭為壟斷了高端光刻高端機市場。


 


天體農場


光刻機是一種利用光學技術對半導體材料進行加工的機器,它可以認為是計算機技術發展的強大助推器,在人們發現晶體管計算機比電子管計算機的效率提高成千上百倍後,有人又提出,構成晶體管的半導體材料要先行造成晶體管的形態再把晶體管連通起來,其電子學性能還是不高,如果在一大塊半導體材料中用外力方法切去一部分,令其在原有材料的基礎上形成成千上萬個晶體管,其電子學性能就有翻天覆地的變化。

究竟何種外力能夠加工半導體材料?經過科學實驗,人們知道光學技術能夠達到這一點,世界上最大的,最有實力的電子照明技術就是荷蘭的菲利蒲公司,後來根椐世界產業分工的原因,該公司分列出一個子公司,這個公司利用了菲利蒲公司歷史上沉澱的光學研究技術,利用了德國提供的精密機械技術,利用了美國提供的光源,利用了世界各地的元件配件,製成了半導體材料的光學加工機器,這種機器由於是由專門人材設計,能工巧匠操作加工而成,所產出的機器性能穩定,品質保證,比同行業廠商的水平高出很多,所以可以認為是世界頂級的光刻機。

筆者在這裡要強調的是,上一段內容所講的四個"利用"一詞,並不是一種商業的利用涵義,而是一種深度的合作,德國與美國提供的合作內容是世界上獨一無二的頂級科學,工藝,技術組成的,與兩國的根本利益息息相關,所以題目中所稱的頂級光刻機是指它是世界上獨一無二的光刻機。


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作為生產芯片的最為關鍵的設備之一,光刻機被業界譽為集成電路產業皇冠上的明珠,其設備的性能直接影響到整個微電子產業的發展,因此研發的技術和資金門檻非常高,像日常使用的手機CPU製造工藝都離不開光刻機。

1、荷蘭佔據光刻機市場的龍頭老大

荷蘭的ASML(阿斯麥),是全球有名的光刻機制造商,目前在高端市場上一家獨大,它的客戶主要是IBM、TSMC和Intel等芯片巨頭,已經佔世界市場份額的90%,而光刻機市場第二、第三的尼康和佳能被遠遠甩在後面,只能做中低端市場。

ASML最先進的EUV(極紫外光)光刻機已經能夠製造7nm以下製程的芯片了,單臺機器售價已經超過了一億美元。相比之下,中國完全自主生產的光刻機只有90nm的製程,差了一大截,進步空間很大。

2、荷蘭光刻機申請專利達世界之最

事實上,ASML並不是一家自我成長起來的公司,而是從著名電子製造商飛利浦獨立出來的一個公司。要知道,飛利浦可是世界上最大的電子品牌之一,在歐洲名列榜首,ASML的成長肯定離不開飛利浦的技術和資金的支持。

打鐵還需自身硬,光靠別人的幫助難以自立,ASML還注重技術研發,整個高層都十分關注科研的進展情況。單單以最先進的EUV光刻技術為例,ASML就獲得了世界第二的專利申請量,可見裡面有多少自己的核心技術。

3、荷蘭要求建立特殊的合作關係

合作共贏也是ASML獲得成功的關鍵因素,ASML的大股東是英特爾、三星和臺積電(TSMC),這意味著它們不僅是股東、還是客戶。ASML有一個與眾不同的合作原則:必須入股,才能獲得最優供貨權,這就為ASML的持續發展擴大提供大量的資金,而且還可以鞏固市場的佔有率。

除了提供資金支持外,合作伙伴還為ASML提供更多的技術支援。比如說剛剛提到了ASML在EUV光刻技術上擁有世界第二的專利申請量,

而世界第一是德國的蔡司公司,第三是韓國的海力士公司,這兩家公司都是ASML的合作伙伴。

4、整合全球供應鏈提高產品競爭力

此外,ASML的光刻機中超過90%的零件都是面向全球採購,由於整合了全世界最優質的零部件,ASML具備了製造出最尖端光刻機的基礎條件,能夠專注於如何提高設備的製造水平,同時也可以及時對準客戶需求,久而久之形成了行業競爭力,而不像什麼都自己研發和生產的尼康和佳能。

不過,別人再厲害也與我國沒關係,ASML高端的光刻機對中國是禁售的,中國只能買到ASML的中低產品,這造成了目前中國半導體工藝難以提升上去。與近期中興事件帶給我們的警示同樣,中國任何時候都要高度重視自主創新,畢竟我們只能靠自己。

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荷蘭的ASML,中文翻譯是阿斯麥,這個公司是全球最大的光刻機設備和服務提供商。壟斷了市場80%的份額,在極紫外光(EUV)領域,目前處於壟斷地位。曾經一臺高端設備賣到了1億歐元,據說今年更是賣到了5億歐元。



製造7nm以下製程的芯片,目前荷蘭製作的最先進的EUV(極紫外光)光刻機能夠做到。這就是因為阿斯麥的技術先進,能夠製作光刻機的公司,除了阿斯麥還有尼康和佳能,但是尼康和佳能生產的設備要落後阿斯麥很多,根本不能相提並論。在芯片製作領域,落後對手一點,都很可能會失敗,何況尼康和佳能的設備落後於阿斯麥1代甚至2代。所以阿斯麥因為技術先進佔據了全球所有的高端光刻機市場。



德國的卡爾蔡司和阿斯麥的合作,光刻機需要頂級的光學鏡頭。德國的蔡司集團入股了阿斯麥24.9%的股份,並且和阿斯麥長期合作。



阿斯麥進入了壟斷地位之後,故意降低產量,然後讓下游廠商投資,誰的投資越多,誰就可以優先拿到貨源,這也是阿斯麥獲得了更加充足的資金。更加使得很多壟斷型的大廠成為了自己的合作伙伴。比如我們熟知的英特爾、臺積電、三星、海力士都在其中。這也就形成了龐大的利益共同體。



EUV光刻技術上擁有世界第一專利申請量的是德國蔡司,世界第二是阿斯麥,第三是韓國的海力士公司,而這兩家公司都是阿斯麥的合作伙伴。


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