微訪談：微元時代董事長&北京大學閆桂珍教授
<strong>採訪背景：北京微元時代科技有限公司（簡稱：微元時代），成立於2011年，是一家孵化於北京大學微電子學研究院，專門從事MEMS慣性傳感器研發、生產和銷售的高科技公司。微元時代的核心技術源於北京大學微納電子學研究院慣性MEMS課題組近二十年的深厚技術積澱成果轉化。公司致力於研製全國產化、自主可控的中高端MEMS陀螺儀、MEMS加速度計以及慣性MEMS組合等系列化產品，以及為MEMS業內提供專業而細緻的設計及工藝技術服務。公司創始人閆桂珍老師是北京大學教授、博士生導師，中國MEMS工藝技術奠基人，慣性MEMS傳感器專家，具有四十多年的集成電路和MEMS工藝技術研發經驗，精通微電子器件和集成電路製造技術。閆教授曾獲國家“八五”科技攻關重大科技成果獎、北京市科技先進一等獎、國家技術發明二等獎等，並開發了多套CMOS和MEMS工藝技術，其中廣受好評的北京大學MEMS SOG工藝，已經服務於國內十幾家大學和研究所。為了探秘微元時代，麥姆斯諮詢近期與閆教授進行了深入交流。
<strong>麥姆斯諮詢：閆老師，很高興採訪您。首先請介紹下微元時代和團隊情況吧。
閆桂珍：微元時代孵化於北京大學微納電子學研究院慣性MEMS課題組。北京大學的慣性MEMS技術研究放在微納電子學專業，是國內從事慣性MEMS器件研究最早的一批單位之一，我們有一個微米/納米加工技術國家級重點實驗室，微納加工技術是我們的專業特長，所以北京大學的慣性MEMS研究是以製造工藝為起點來展開的，而製造工藝恰恰是慣性MEMS器件研究中的基礎核心部分，這是我們的特色。我們課題組開展MEMS慣性器件研究近二十年，承擔過多項MEMS慣性器件的相關課題，圍繞國家對中高端慣性MEMS傳感器的迫切需求，在慣性MEMS器件設計、敏感結構製造加工、ASIC電路設計、可靠性封裝及批量測試等方面開展了較為系統的研究，突破了一系列關鍵技術，取得了一批具有國際先進水平的科研成果。其中，我們開發的MEMS SOG工藝具有高精度、高成品率的優點，滿足了高精度MEMS陀螺儀對工藝的需求，每年為國內十餘家科研機構提供近萬隻的MEMS慣性器件敏感結構加工，並在淮海工業集團成功實現了產學研轉化，為MEMS陀螺儀的產業化打下了良好基礎。高校不適於從事產業化運作，因此我們孵化出了微元時代來推動慣性MEMS產品的產業化進程，這也是響應國家近年來的有利政策，對高校的科研成果進行轉化。
現在的團隊成員都是來自MEMS領域的資深工程師和專家，包括一些北京大學的老師和我的學生等，人員專業且全面，包括結構力學、集成電路設計、微納工藝、微電子封裝等。整個團隊有很強的凝聚力和使命感，全力推進我國中高精度慣性MEMS傳感器的自主國產化。
微元時代掌握慣性MEMS傳感器全技術鏈，自主可控
<strong>麥姆斯諮詢：接下來，請您介紹下微元時代的產品情況。
閆桂珍：經過這麼多年的技術攻關，我們團隊啃下了無數個“硬骨頭”，現在我們自己設計製造的MEMS陀螺儀和加速度計，具有完全自主知識產權，產品性能指標達到了國外同類產品先進水平，走出了產業化的重要一步。
現階段主要定位在中精度戰術級MEMS陀螺儀和加速度計。陀螺儀和加速度計為單芯片陶瓷封裝，產品尺寸都是10mm x 10mm x 3.5mm，全部為5V供電，內部進行了溫度補償，對外採用I2C或者SPI總線接口。陀螺儀的量程從±300°/s到5400°/s，加速度計的量程從5g到100g，中小量程下綜合力熱環境性能為30°/h和1mg，陀螺儀常溫穩定性和重複性在5°/h左右。此外，我們的陀螺儀和加速度計產品具有較強的抗高過載能力，可達20000g@8ms。現在，微元時代可隨時進行中小批量MEMS陀螺儀和加速度計的供貨，產品質量沒有任何問題。因為我們已經向國內的多個用戶提供了產品進行應用驗證，並取得了良好的反饋。
微元時代無論從技術上還是產品應用上已經取得了非常不錯的成績，但是仍處於起步階段，我們非常希望同國內的各個單位進行緊密合作，共同推動我們國家的MEMS產業發展，在這一點上，我們團隊是十分開放的。可以針對每一個客戶的具體需求，從單芯片到多軸組合，從芯片級到組件級，幫助客戶快速實現產品原型並進行評估。
單軸陀螺儀（10mm x 10mm x 3.5mm）
單軸陀螺儀組件（21mm x 15mm x 5mm）
雙軸陀螺儀（20mm x 20mm x 15mm）
慣性測量單元（IMU）（30mm x 30mm x 27mm）
<strong>麥姆斯諮詢：你們如何解決慣性MEMS產品的量產問題？
閆桂珍：為了實現較高成品率的批產能力，在MEMS設計上巧妙降低對工藝誤差的敏感度，在工藝控制上努力降低工藝誤差，保證加工的一致性和加工成品率。另一方面同時開發及採用了全自動芯片中測系統、全自動貼片設備、自動鍵線設備以及自動封裝設備，將MEMS器件後道工序中的全部設計要點在設備工藝流程中實現，有效地提高了產品的良率，保證了性能的一致性和可靠性。現在，我們可以給用戶提供中小批量產品供貨（萬隻以內）。
<strong>麥姆斯諮詢：微元時代有無融資計劃？可否介紹下？
閆桂珍：微元時代在發展過程中，得到了很多人的大力支持，也曾遇到過很多困難，比如發展資金問題，我們團隊成員自掏腰包，“眾籌”搞開發。我的學生、博士後還有眾多員工，放棄了外面高薪的機會，在這個領域繼續深耕，就是想早日把自主國產化的產品推向市場。既然國外中高端MEMS陀螺儀和加速度計能用，咱們國內的產品沒有理由不能用。隨著團隊的努力，公司取得了巨大的進步，因此到目前有很多不同背景的投資機構表達了投資意願，也歡迎認可微元時代能力並看好中高端慣性MEMS產業發展的機構來投資我們，加速更多的慣性MEMS產品落地。
<strong>麥姆斯諮詢：閆老師，聽說您的學生對您的評價都很高，能否說說您的學生們?
閆桂珍：我的學生們真是都非常優秀，我本人的水平有限，在很多領域沒有他們懂得多，但是他們都能通過自己的努力解決了一個個技術難題。我非常欣慰的是，這麼多年從組內畢業的很多學生仍在MEMS產業奮鬥，很多人都已經成長為各個單位的中堅力量，為國家MEMS事業奉獻著自己的力量，儘管MEMS專業可能不如計算機、金融等專業薪酬待遇高，但是國家必須有人去從事這些實體科技行業，板凳一坐十年冷，沒有忍受孤獨和不成功的心態，是不可能取得成績的，各個行業皆如此。我快70歲了，沒能看到全國產的MEMS陀螺儀能真正用起來，因此總是不甘心，一直憋著一股勁在做事。我希望自己的學生們能夠堅守自己的夢想，不忘初心，記得北京大學母校對你們的培養，不求做出多大成績，只求在你們各自的崗位上兢兢業業，安守本分，儘自己的能力為國家做出貢獻。
<strong>延伸閱讀：
《高端慣性系統市場與技術-2017版》
《ADI精密6軸MEMS慣性傳感器：ADIS16460》
《賽峰Colibrys VS1000系列加速度計》
《Silicon Sensing組合傳感器（Z軸陀螺儀和2軸加速度計）：CMS300》
《村田SCC2000系列：X或Z軸陀螺儀和3軸加速度計》
《Tronics陀螺儀：GYPRO3300》
《Epson Toyocom石英陀螺儀：X3500W》
《Sensonor高精度MEMS陀螺儀模塊：STIM210》
《3軸MEMS陀螺儀：ST L3G4200D》
《美信3軸MEMS陀螺儀：MAX21000》
原文鏈接：http://www.mems.me/mems/micro-interview_201901/7531.html
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