【科普】既生硅,何生碳:可是,有種材料叫碳化硅

大自然特別奇妙,讓元素週期表上的IV族元素的單質個個異常優秀——

IV族元素排首的碳(C),是生命必不可少的組成元素之一。此外,它的單質可以為火鍋、烤肉提供溫度,也可以是導熱性能優良的第三代半導體;它可以是性能優良的石墨烯,但是搖身一變就成為堅貞愛情的見證;它柔弱,可以穿在身上,冬暖夏涼;它堅硬,能切割一切,所向披靡。

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而IV族元素排第二的是硅(Si),是地球上含量僅次於氧(O)的元素。主要存在於不起眼的小石頭中,可變成單質就能讓電子設備的體積越來越小,運算速率卻大大提升;它把太陽能轉化成電能,也鑄成了半導體行業發展的里程碑。其晶體結構和金剛石相同。

碳和硅都這麼優秀了,可是怎麼還出了一個碳化硅(SiC)???

一山更比一山高,碳化硅的出現絕非偶然,都是因為一個詞——優秀

其實,自然界也是存在天然SiC礦石,而且非常罕見。它就是——莫桑石。

下面是寶石行業常用的參數:1⃣️火彩,莫桑的火彩是鑽石的2.5倍;2⃣️色散值,鑽石是0.044,莫桑是0.104;3⃣️折射率,鑽石是2.417,莫桑是2.65。4⃣️莫氏硬度,鑽石是10,硬度之王非它莫屬,莫桑石是9.2-9.8,也遠高於其它寶石。所以,相同條件加工後的莫桑石會比鑽石更加”閃耀“。

但是,天然莫桑石非常稀少,稀少到僅出現在五萬年前隕石坑內。所以有人說:天然莫桑石比起天然鑽石更能代表愛情

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單單因為顏值,SiC就能讓相寧這麼誇讚嗎?非也,而是因為它也有優良的物理性能,這也是支撐它在工業生產、半導體行業等多個領域有一席之地的重要原因。

你可能沒見過莫桑石,但你一定聽說過金剛砂,這個類似“金剛石”的名稱已經霸氣側露的表示出了它的硬度。常見的作為磨料、耐火材料的金剛砂分黑色和綠色兩種。但是,這類金剛砂都是通過石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑等原料通過電阻爐高溫冶煉而成的。純的SiC晶體是無色透明的,帶有顏色是因為它們內部摻有一些雜質,純度並非100%。

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SiC是C和Si唯一穩定的化合物,也是一種共價化合物,有閃鋅礦型(立方晶系,空間群F4-3M )和纖鋅礦型(六方晶系,空間群Pmc)兩種結晶形式,200餘種多型體,且不同結構材料之間的電學、光學等性能各不相同。

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SiC是第三代半導體材料中應用最為成熟的材料之一。第三代半導體即寬禁帶半導體,主要包含包含碳化硅、氮化鎵、氮化鋁、氧化鋅、金剛石等(第一代半導體主要是Si、Ge等單質半導體材料;第二代半導體主要是指GaAs、InP等化合物半導體材料)。SiC的禁帶寬度為Si的2-3倍,導熱率為Si的4-5倍,擊穿電壓為Si的8倍,電子飽和漂移速率為Si的2倍。所以,SiC特別適於製造高溫、高頻、抗輻射及高功率的器件。

目前,採用SiC製備LED照明設備的技術已經十分成熟,也已經開始應用於半導體激光器和探測器上。採用SiC製成的發光二極管輻射波長可以覆蓋綠光到紫光(400-550nm)波段,在光信息顯示及光集成電路等領域中具有廣闊的應用前景。

在市場上,SiC光電子、功率和微波等三類器件也已經廣泛使用,如PIN二極管、肖特基二極管、MESFET、MOSFET、晶閘管、SiC基發光二極管等。這類電力電子器件就是利用了SiC耐高溫、高頻、高壓及高功率的優勢。舉個例子,Si器件的最高工作溫度大約200℃,可是SiC器件在400℃的時候還能運轉飛速。但是因為成本問題,SiC電子器件主要在應用於軍用飛機、艦艇等,目前民用市場還比較有限。

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有人說,我們對Si的瞭解程度在“博士”水平,但是對於SiC的瞭解就像是“小學生”。我們不禁心生疑問:

人類在1905年就在隕石中發現SiC晶體了,1907年第一隻SiC晶體二極管就誕生了。已經一百多年過去了,SiC在半導體領域的優勢又那麼多,可為什麼對它仍知之甚少呢???

答案總結為一個字,那就是:少!

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“物以稀為貴”是亙古不變的道理。自然界中的莫桑石稀少到根本沒有開採價值,可遇不可求。更殘酷的是,人造高純度SiC單晶的條件又十分苛刻,尤其是很難達到製作半導體光電器件的級別要求。

SiC的熔點小於金剛石,大於Si單晶。所以在Si的製備條件下,SiC是沒有液相存在的。SiC的製備條件要求:壓力約1000Pa、溫度超過2000℃,理想的化學配比。故從商業角度考慮:SiC單晶不可能像Si單晶一樣從熔體中提拉制備。

目前世界上常見的製備SiC單晶的方法是籽晶昇華法,又稱物理氣相傳輸法(PVT)。其原理是對準密閉的坩堝系統採用感應或電阻加熱,將作為生長源的固態混合物置於溫度較高的坩堝底部,籽晶固定在溫度較低的坩堝頂部。在低壓高溫下,生長源昇華且分解產生氣態物質,生長源與籽晶之間存在溫度梯度,因而會形成的壓力梯度。這些氣態物質會由此被輸運到低溫的籽晶位置,形成過飽和,籽晶開始長大。

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(來源:2014·LED配套材料產業發展交流對接會)

除了以上方法,常見的還有高溫化學氣象沉積法(HTCVD)與液相法(LPE)兩種,這兩種方法的生長溫度也需要1500-2500℃。但是相對於PVT法,這兩種方法都還尚不成熟。下圖為SiC和Si單晶生長條件的參數對比。

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近兩年,隨著電動汽車和5G通訊技術的發展,能夠承受高壓、高頻環境,導熱性良好的SiC器件又得到了重視,開始快速發展。國內,低功耗的碳化硅器件也已經從實驗室進入了實用器件的生產階段。但是相比來說,碳化硅晶圓的價格還是比較高,其缺陷也多,所以其應用市場距離像Si器件一樣廣泛成熟還需要一定的時間。

不過,希望還是很大的,“預言寧”感覺那天似乎就在不遠處。

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