硅拋光片生產現場 記者 張銳鑫 攝
日前，在洛陽單晶硅集團麥斯克電子材料有限公司超淨車間裡，伴隨著輕微的機械傳動聲，一塊塊光滑如鏡的銀灰色硅拋光片正在自動化設備上接受檢測。
曾誕生中國首條單晶硅生產線的洛單集團，如今在中國電子產業升級大潮中有了新擔當。和一年前這條生產線上檢測的產品全部為4英寸、5英寸、6英寸硅拋光片不同，目前這家企業更多生產的是曾為國產化空白的高新技術產品——8英寸硅拋光片。
從汽車、飛機到計算機、手機，現代工業、消費電子設備都離不開芯片等集成電路產品。作為重要的硅襯底基礎材料，硅拋光片是芯片等產品不可或缺的上游原材料。
麥斯克公司副總經理焦二強介紹，在生產中，單晶硅棒經切割、研磨、拋光等工藝後成為硅拋光片，按其直徑分為4英寸、5英寸、6英寸、8英寸、12英寸等規格。直徑越大，意味著下游生產材料利用率越高，對其本身材料和技術的要求也越高。
近年，我國硅拋光片製造工藝取得較大進步。然而，高附加值的8英寸和12英寸硅拋光片絕大多數依然依賴進口，嚴重影響我國芯片產業競爭力和供應鏈安全。
洛單集團在4英寸至6英寸的小尺寸硅拋光片領域競爭力居世界前列，相關產品在國內市場的佔有率在35%以上。圍繞國家集成電路產業轉型升級的迫切需求，2017年，該企業投資建設了年產36萬片8英寸硅拋光片項目，以此為依託的“8寸晶圓技術研究及產業化”項目被列入鄭洛新自創區產業集群專項。
“直徑雖然只大了2英寸，卻意味著全新的結晶工藝。研發過程就像‘摸著石頭過河’，難度可想而知。”焦二強說。
在研發過程中，該企業獨立完成了熱場進行設計改造，突破了邊緣剝離技術、純水慢提拉乾燥技術等，申請了包括3項發明專利在內的16項國家專利，背封膜均勻性、硅片平整度、表面微粗糙度等指標達到世界一流水平！
如今，走進洛單集團生產一線，員工們更多談論的是如何精益求精做好每一片8英寸硅拋光片生產，讓企業效益躍上新臺階。目前，該企業已完成4大類20個規格8英寸硅拋光片的研發和量產，為9家客戶提供了23批次的認證片。產品不僅替代進口，滿足了國內需求，還銷往英國等國家，走向了國際市場。
“只有品質好，才能贏得客戶信任。10月，我們剛剛簽訂了一張2萬片訂單，這是8英寸硅拋光片自去年10月試生產以來的最大訂單，標誌著我們的新產品正式站穩市場。”焦二強話語中帶著自信。
下一步，該企業將加大8英寸硅拋光片市場推廣力度，持續推進更加高端的12英寸硅拋光片研發，以高可靠的材料供應助力中國集成電路產業轉型升級，邁向高質量發展。（洛陽日報首席記者 張銳鑫 通訊員 段學廣）
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