國產替代丨半導體電子氣體的國產機會


電子氣體是指用於半導體及相關電子產品生產的特種氣體,應用範圍十分廣泛。按其本身化學成分可分為:硅系、砷系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。按在集成電路中不同應用途徑可分為摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入氣、發光二極管用氣、刻蝕用氣體、化學氣相沉積氣和平衡氣。在半導體工業中應用的有110餘種單元特種氣體,其中常用的有超過30種。

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電子氣體的主要應用範圍包括電子行業、太陽能電池、移動通訊、汽車導航及車載音像系統、航空航天、軍事工業等諸多領域。

1)集成電路領域:

電子特種氣體涉及集成電路製造多個環節,對最終產品質量和性能影響重大。電子氣體在多個集成電路製造環節具有重要作用,尤其在半導體薄膜沉積環節發揮不可取代的作用,是形成薄膜的主要原材料之一。

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2)LCD領域:

特種氣體在LCD行業中主要應用於成膜和幹刻工藝。液晶顯示器分類種類眾多,其中TFT-LCD的反應時間快、成像質量高、且成本逐漸降低,是目前應用最廣泛的LCD技術。TFT-LCD面板的製造過程可分為三大階段:前段陣列工(Array)、中段成盒工序(Cell)以及後段模塊組裝工序(Module)。電子特氣主要應用於前段陣列工序的成膜和幹刻階段,經過多次成膜工藝分別在基板上沉積SiNx非金屬膜以及柵極、源極、漏極和ITO等金屬膜。

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3)LED領域:

特種氣體在LED照明中主要應用於LED外延片和芯片的製作過程。LED主要生產流程包括:外延片生長、芯片加工以及封裝應用,電子特氣主要應用於外延片生長和芯片的加工芯片。(LED是發光二極管的簡稱,是一種新型的半導體固體發光器件,具有發光率高、光線質量好、能耗低、安全環保等優點,是新一代照明光源及綠色光源)

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4)太陽能電池領域:

電子特氣在兩類主流電池片太陽能晶體硅電池片和薄膜太陽能電池片的生產過程中扮演著重要角色。太陽能電池是一種利用太陽光直接發電的光電半導體薄片,由於太陽能是可再生的清潔能源,太陽能電池具有廣闊的發展前景,電池片是太陽能電池的核心組件。電子特氣在太陽能電池片的多項生產環節中發揮重要作用,包括擴散、刻蝕、沉積等工序。

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技術門檻

特種電氣提純是製備工藝的核心技術壁壘。特種氣體純度的提高,能夠有效提高電子器件生產的良率和性能。電子特氣中水汽、氧等雜質組易使半導體表面生成氧化膜,影響電子器件的使用壽命,含有的顆粒雜質會造成半導體短路及線路損壞。而伴隨半導體工業的不斷髮展,產品的生產精度越來越高。以集成電路製造為例,其電路線寬已經從最初的毫米級,到微米級甚至納米級,對應用於半導體生產的電子特氣純度亦提出了更高的要求。

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電子特氣純度提升的影響因素主要包括“氣體的分離和提純”、“氣體雜質檢測和監控”、“氣體的運輸和儲存”三個方面。1)氣體的分離和提純:電子氣體的分離和提純方法原理上可分為“精餾分離”、“分子篩吸附分離”以及膜分離三大類,在實際提純分離過程中,為了達到更好的分離效率,往往會利用多種分離方法進行組合,工藝更為複雜。2)氣體雜質的檢測和監控:隨著電子特氣的純度越來越高,對分析檢測方法和儀器提出了更高的要求,檢測限從最早的ppm級已經發展到ppt級。目前國外電子氣體的分析已經經歷了離線分析、在線分析(on-line),原位分析(insitu)等幾個階段。對於高純度電子氣體的分析,國外已經開發出系統完整的分析測試方法和現場分析儀器。而由於我國電子特氣行業一直重生產而輕檢測,因此分析方法和分析儀器同外國廠商相比都比較落後;3)氣體的運輸和儲存:高純特氣在儲存和運輸過程中要求使用高質量的氣體包裝儲運容器、以及相應的氣體輸送管線、閥門和接口,確保避免二次汙染。

市場規模

2016年全球集成電路用電子特種氣體的市場規模36.8億美元。根據SEMI統計數據顯示,近幾年全球集成電路用電子特種氣體的市場規模相對穩定,增長緩慢。2016年全球集成電路用電子氣體市場規模約為36.8億美元。

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我國集成電路用電子特氣的市場規模約46億元。根據IC Mtia統計數據,2016年我國電子特氣市場規模達到46億元。雖然我國電子氣體已經擺脫完全依賴進口的狀態,但面對國外化工巨頭已經實現的市場壟斷,國內企業依然面臨巨大的競爭壓力。

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全球產業格局及主要企業

電子特種氣體從生產到分離提純以及運輸供應階段都存在較高的技術壁壘,市場準入條件高,全球市場主要被幾家跨國巨頭壟斷。包括美國空氣化工、普萊克斯、德國林德集團、法國液化空氣、日本大陽日酸株式會社等公司佔據了全球電子特氣90%以上的市場份額。

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(1)美國空氣化工

美國空氣化工產品(Air Products,紐約證券交易所代碼:APD)。是一家世界領先的工業氣體公司,位列美國財富500強。工業氣體是公司的核心業務,提供空分和工業氣體、以及相關的設備,主要為煉油石化、金屬、電子和食品飲料等製造產業服務。

空氣化工產品有限公司於1987年進入中國,在深圳蛇口設立了一家氣體工廠,是西方氣體公司在中國成立的第一家合資企業,後成為中國最大的工業氣體產品公司之一。

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(2)法國液化空氣集團

法國液化空氣集團(液空集團)是世界上最大的工業氣體和醫療氣體以及相關服務的供應商,在巴黎證券交易市場上市,位列福布斯500強。2016年集團總銷售額為181.35億歐元,同比增長14.6%,淨利潤18.44億歐元,同比增長了5%。

液空集團向眾多的行業提供氧氣、氮氣、氫氣其其它氣體及相關服務,擁有來自35個國家的1,100名科研人員,通過全球9個研發中心開展研發活動。集團每年對創新、研發和技術的投入近3億歐元,每年新增約300項專利。

液空集團1916年進入中國,於70年代重返該市場提供空分設備,並於90年代初開始其在華氣體業務,目前在中國設有近90家工廠,遍佈40多個城市,有大約3700名員工,在中國的銷售額超過25億人民幣。

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(3)美國普萊克斯

普萊克斯(紐約交易所代碼:PX)是一家全球領先的工業氣體專業公司,同時也是北美和南美洲最大的工業氣體供應商。公司向各行業用戶提供大氣氣體、工藝氣體、特種氣體、高性能表面塗料和相關的服務於技術,其最初創建於1907年,也是首家將深冷分離氧氣商業化的公司,於1917年推出第一個液態氣體配送系統,並於二戰後期開發了現場供氣。在二十世紀六十年代,普萊克斯推出了非深冷的空分技術,從那以後,普萊克斯不斷向不同的行業介紹革新了的應用技術,公司擁有近3000項專利,其中單為鋼鐵冶金工業就提供了300項專利。

普萊克斯於1988年進入中國市場,並於1992年在北京設立了首家合資企業。作為目前在中國最佳的工業氣體生產商和供應商之一,普萊克斯中國總部設在上海,至今在國內已設立13家獨資企業和11家合資企業,生產銷售網點覆蓋華北、華東和華南地區,在華員工超過1000人。

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(4)德國林德公司

德國林德公司是德國工業氣體巨頭,以生產工業氣體與物流堆高機為主,位列世界500強。該公司提供種類廣泛的壓縮和液化氣體以及各種化學產品,是眾多行業不可或缺的重要合作伙伴。林德氣體運用領域涉及鋼鐵生產、提煉、化學加工、環境保護、焊接、食品加工、玻璃生產和電子行業。林德集團同時也大力發展快速增長的醫療業務(如醫用氣體)和生態氫技術的研發。

林德集團在中國提供的產品涉及氣體相關方案和工程服務,是第一批進入中國市場的國際氣體公司。中國地區業務年收入超過30億人民幣,年增長率保持在25%-30%。

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中國產業格局及主要企業

中國國內電子特氣企業技術與國外仍然存在較大差距,電子特氣市場仍被外企主導。截止2016年年底,國內方面電子特種氣體行業集中度高,美國化工、普萊克斯、日本昭和電工、英國BOC公司(已被德國林德集團收購)、法國液化公司、日本酸素等六家公司合計佔據了我國電子特氣85%的市場份額。

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在政策支持和技術進步推動下,我國特種氣體行業在2006年後進入快速發展階段,2010年後國內特種氣體企業不斷衝擊國外巨頭技術壟斷的格局。近年來,隨著國家對半導體產業的支持力度不斷加大,02專項科研等項目推動著中國本土的電子特種氣體產品水平在不斷提升。伴隨國內科研院所和特氣企業不斷的投入和研發,中國終於結束國產電子氣體無法大規模批量穩定使用的歷史,電子特氣逐漸實現國產化,稀有氣體產量和質量都有較大提升,氫能源開發也緊跟日本的步伐,以硅烷、高純氨、氫氟酸、氯氣、砷烷等為代表的國產電子特氣,逐漸開始滲透國內市場,相應的廠商也不斷湧現。截止2015年年底,我國共有特種氣體生產企業150餘家,其中比較突出的有雅克科技、南大光電、巨化股份、凱美特氣等。

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A股重點投資標的

我們認為電子特氣行業受益股票組合包括:南大光電、中環裝備 (300140)及雅克科。

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1.南大光電

公司是國內知名高純金屬有機化合物專業生產商。目前,公司主要從事光電新材料高純金屬有機源(MO源)的研發、生產和銷售;擁有自主知識產權並實現了MO源產業化生產,是全球主要的MO源生產商。公司產品主要應用於下游製備LED外延片等,不僅實現了國內進口替代,還遠銷歐美及亞太地區,積累了一大批穩定優質的客戶資源。

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公司在MO源的合成製備、純化技術、分析檢測、封裝容器等方面已全面達到國際先進水平,主要產品有三甲基鎵、三甲基銦、三乙基鎵、三甲基鋁等,產品的純度大於等於6N,可以實現MO源產品的全系列配套供應,在激烈的市場競爭中,具有一定優勢。2017年公司營業收入結構中,三甲基銦及三甲基鎵佔比分別為28.11%、28.07%;其次為電子特氣20.16%。

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公司入股北京科華,進軍芯片製造關鍵材料光刻膠。北京科華是國內第一家進入KrF(248nm)光刻膠領域的廠商。光刻膠產品的開發和客戶認證均取得了一定進展。從發展情況來看,光刻膠技術門檻較高,下游客戶粘性較高。伴隨國產化率的提高,科華作為國內光刻膠領域的龍頭企業,先發優勢明顯,成長性較好。

斥資10億投資建設193nm光刻膠生產線,2020年達產後預計年產值3.75億、稅後淨利約8000萬元。2018年1月11日,公司與寧波經濟技術開發區管理委員會在寧波市北侖區簽訂了《投資協議書》。公司擬在寧波開發區投資建設高端集成電路製造用193nm光刻膠材料以及配套關鍵材料研發及生產項目,項目總用地面積約86畝,其中一期總投資(含本公司、合作單位及政府相關出資)預計約9.6億元,達產後年產值預計約3.75億元,年稅預計收約8000萬元。

2.中環裝備

公司是以電工專用設備、高電壓試驗、檢測設備以及高純特種電子材料的研發、生產、銷售、技術服務為主營業務的科技型公司。公司參股的子公司啟源領先主要經營範圍為鍺烷、砷烷、磷烷等多種高純特種氣體材料的研發、生產和銷售。所生產出的特純氣體產品經測試,均優於國家標準和行業標準。並在行業重要客戶上線測試一次達標,得到客戶讚揚和認可。

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公司2017年營業收入結構佔比為大氣汙染減排(41.32%)、環保裝備業務(19.23%)、環境能效監控與大數據服務(15.97%)、電工裝備業務(12.55%)。公司不斷加強營銷網絡建設,積極整合營銷力量,在保持傳統優勢業務持續穩定推進的同時,積極開拓新的業務領域,取得較好成效。

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公司積極搭建適應發展需求的“矩陣式”研發體系及“章魚式”研發模式,為公司節能環保裝備業務的穩步推進奠定技術基礎。公司在固廢處理裝備、汙水處理一體化裝備等方面完成了全面考察與調研。對磁懸浮風機技術、移動儲能裝備,進行了豐富的技術儲備。在環境監測方面,完成了大氣細顆粒物EC-OC監測設備樣機的研製,完成了VOC非甲烷總烴系統、完全自主研發紫外分析儀的小批試產工作,在產品可靠性提供和成本降低方面,優化改良的水質分析儀測量精度得到極大程度提高。在電工裝備方面,繼續保持行業領先,重點研究和開發“變壓器鐵心智能製造整體解決方案及關鍵設備”。

增發收購汙水汙泥設備專家兆盛環保100%股權,進一步完善公司產業佈局。兆盛環保符合公司整體的發展定位和要求,滿足公司佈局汙水處理裝備的戰略,將進一步促進公司拓展汙水(泥)處理環保非標設備業務,豐富產品類型,進一步提高公司的體量。此外,汙水處理設備業務將對公司的主業形成有效補充,有利於公司構建城市、鄉村、河道流域水環境治理的產業鏈佈局,從而進一步提升專業化水準。

3.雅克科技

公司是多種半導體材料的優質供應商,其三大業務板塊為電子材料、傳統阻燃劑和新型複合材料。在電子材料板塊,全資子公司華飛電子在2017年對封裝材料不斷加大研發力度,優化產品結構,推出新型硅微粉產品,提高了高附加值產品的銷售比例;控股子公司成都科美特在特種氣體的製備工藝和質量控制等方面達到先進水平,是高純度電子特種氣體的知名供應商;通過江蘇先科實際控制的韓國UP Chemical公司在半導體前驅體和淺溝道隔離絕緣材料(SOD)等產品具有國際領先的技術,產品在國際知名半導體廠商有廣泛的運用。

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2017年營收結構佔比最大為阻燃劑(79.70%),其次分別為球形硅微粉(9.01%)、錫鹽類(4.83%)。公司傳統阻燃劑、電子材料和新型複合材料產業平臺發展勢頭良好,具備了一定的技術、市場、規模優勢。

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整合電子特種氣體產品優質標的,長期受益於半導體材料發展。公司於2017年4月開始收購成都科美特90%股權和江蘇先科84.8250%股權的收購。2018年3月14日,該項目獲得中國證監會併購重組委無條件通過。在完成對成都科美特和江蘇先科的收購以後,公司將在前期形成的傳統阻燃劑、電子材料和新型複合材料三大業務板塊的基礎上,於電子材料板塊增加成都科美特和江蘇先科兩大助力,公司將與各個業務板塊的子公司充分實現客戶協同、技術協同,進一步增強公司在各個業務板塊的產品佈局和業務實力,進一步推進公司業務轉型升級的發展戰略,增強公司的盈利能力。

研發團隊備受認可,競爭實力與日俱增。公司LNG研發項目團隊獲得了法國GTT公司關於NO96-L-03+型LNG船液貨艙圍護系統的增強型聚氨酯保溫絕熱板材認證,成為該產品國內首家通過法國GTT專利認證的公司。子公司華飛電子也不斷深化研發,提高產品附加值。公司在研發方面的投入使優質客戶資源的不斷豐富,提升在業內的競爭力。


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