科技日報記者 付毅飛
18日，位於河北省邯鄲市肥鄉區的中船重工718所新材料一期項目正式投產，二期項目開工建設。記者從該集團公司瞭解到，這標誌著718所三氟化氮等特種氣體產品向著產能世界第一邁出了堅實一步。
高純電子特種氣體被形容為半導體工業的”血液”和”糧食”，是大規模集成電路、多晶硅、太陽能、光纖等先進製造業的重要原材料，屬於國家加快扶持發展的戰略性新興產業。然而早些年，相關產品被國外壟斷，市場定價權掌握在國外廠商手中。
為破解壟斷危機、搶抓市場機遇，718所於2000年組建特種氣體工程部，自籌經費立項開展研究，於2009年成功開發出高純三氟化氮。該產品被列入國家“重點新產品”及“火炬計劃”，完全替代進口，成功應用在國內幾乎所有半導體、液晶、太陽能行業，並出口美國、日本、法國、德國等國家。
面對喜人成績，718所沒有停止腳步，而是積極跟蹤國際氟化工前沿技術，先後立項開展20多種高純特種氣體研發，自主開發出六氟化鎢、氘氣、三氟甲磺酸、等新產品，涉及核心關鍵技術40餘項，獲得發明專利授權18項，產品均處於國際先進水平。
718所所長李俊華介紹，目前該所已建成國內最大的三氟化氮、六氟化鎢及三氟甲磺酸系列產品研發生產基地。其中三氟化氮國內市場覆蓋率超過95%，國際市場覆蓋率達30%；六氟化鎢國內市場覆蓋率達100%，國際市場覆蓋率達40%。作為國家“02專項”氣體組項目的牽頭單位，該所已經成功研製出四氟化硅等9種高純氣體及10種混合氣體，併成功進行了產業化，產品得到了中芯國際等半導體龍頭企業的測試認證。
近兩年，718所特種氣體產業迅速壯大，年均增速達到30%。該所力爭到2020年，實現年產高純三氟化氮氣體12000噸、高純六氟化鎢氣體2000噸、其他特種氣體3000噸。屆時將實現高純三氟化氮、高純六氟化鎢、三氟甲磺酸以及高純六氟丁二烯氣體產能世界第一，成為世界知名的電子特種氣體材料綜合服務商。
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