在linux系統中，殭屍進程是指完成執行（通過exit系統調用，或運行時發生致命錯誤或收到終止信號所致）但在操作系統的進程表中仍然有一個表項（進程控制塊PCB），處於”終止狀態“的進程。這發生於子進程需要保留表項以允許其父進程讀取子進程的exit status：一旦退出態通過wait系統調用讀取，殭屍進程條目就從進程表中刪除，稱之為”回收（reaped）”。正常情況下，進程直接被其父進wait並由系統回收。進程長時間保持殭屍狀態一般是錯誤的並導致資源洩漏。
英文術語zombie process源自en:zombie — 不死之人，隱喻子進程已死但仍然沒有被收割。與正常進程不同，kill命令對殭屍進程無效。孤兒進程不同於殭屍進程，其父進程已經死掉，但孤兒進程仍能正常執行，但並不會變為殭屍進程，因為被init（進程ID號為1）收養並wait其退出。
子進程死後，系統會發送SIGCHLD 信號給父進程，父進程對其默認處理是忽略。如果想響應這個消息，父進程通常在SIGCHLD 信號事件處理程序中，使用wait系統調用來響應子進程的終止。
殭屍進程被收割後，其進程號(PID)與在進程表中的表項都可以被系統重用。但如果父進程沒有調用wait，殭屍進程將保留進程表中的表項，導致了資源洩漏。某些情況下這反倒是期望的：父進程創建了另外一個子進程，並希望具有不同的進程號。如果父進程通過設置事件處理函數為SIG_IGN顯式忽略SIGCHLD信號，而不是隱式默認忽略該信號，或者具有SA_NOCLDWAIT標誌，所有子進程的退出狀態信息將被拋棄並且直接被系統回收。
UNIX命令ps列出的進程的狀態（”STAT”）欄標示為 “Z“則為殭屍進程。
收割殭屍進程的方法是通過kill命令手工向其父進程發送SIGCHLD信號。如果其父進程仍然拒絕收割殭屍進程，則終止父進程，使得init進程收養殭屍進程。init進程週期執行wait系統調用收割其收養的所有殭屍進程。
為避免產生殭屍進程，實際應用中一般採取的方式是：
將父進程中對SIGCHLD信號的處理函數設為SIG_IGN（忽略信號）；
fork兩次並殺死一級子進程，令二級子進程成為孤兒進程而被init所“收養”、清理。
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