中芯國際迴應:深圳工廠進口設備非EUV光刻

從中芯國際獲悉,日前中芯國際深圳工廠從荷蘭進口了一臺大型光刻機,但這是設備正常導入,用於產能擴充,並非外界所稱的EUV光刻機。EUV光刻機主要用於7nm及以下製程。中芯國際目前量產的最先進製程為第一代FinFET 14nm,已貢獻2019年第四季度1%營收。(中證網)


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