紅外溫度傳感器作為紅外體溫計的核心器件，疫情期間市場需求大。解放日報·上觀新聞記者獲悉，為進一步提高產能，上海新微技術研發中心有限公司（簡稱“工研院”）傳感器團隊3月初攻克了技術難關，使溫度傳感器芯片的月產能從320萬顆提升到640萬顆。截至發稿，該團隊已提交約400萬顆溫度傳感器芯片。
早在春節期間，工研院的“超越摩爾”8英寸研發中試線（簡稱“8寸線”）就緊急復工，24小時運作，第一批9萬顆芯片以99.74%的良率提前三天交貨，投放到了抗疫最前線。溫度傳感器芯片雖然尺寸不足2毫米，但需要120多個步驟、38臺主力設備來製作。其中最關鍵也最耗時間的一個步驟，就是形成芯片背部空腔的深硅刻蝕工藝（簡稱“背腔刻蝕工藝”）。此前，工研院8寸線用在這一工藝上的設備只有一臺，背腔刻蝕工藝成了溫度傳感器芯片生產的最大瓶頸。
在工研院相關部門大力支持下，8寸線負責人果斷地啟用了功能相近的另一臺設備。但這臺設備沒有進行過背腔刻蝕工藝的開發，無法立即滿足溫度傳感器芯片苛刻的工藝要求。而由於疫情關係，設備廠商無法到廠幫助調試設備。
這種情況下，王旭洪研究員率領傳感器團隊爭分奪秒開展新設備的背腔刻蝕工藝技術攻關。8寸線刻蝕設備工程師劉國峰，在工藝工程師因隔離無法及時到崗的狀態下，一人承擔設備和工藝兩職，在同事們配合下第一時間展開各種實驗。工藝工程師潘強及時制定了詳細的工藝開發計劃，在隔離期滿後迅速到廠，與劉國峰並肩戰鬥。工藝經理黃志剛和設備經理胡天保，一直在協調人力、物力資源，及時取得了專業廠商的遠程支持。研發團隊在任務緊迫的情況下，迎難而上，通力合作，解決了一個又一個複雜的技術問題，新設備比計劃提前4天達到可生產狀態，使得溫度傳感器芯片產能儘快實現了翻倍。據介紹，如果工人全部到崗，預計3月可生產約790萬顆溫度傳感器芯片。
目前，工研院參與研發的隔離人員“智能電子封條監控系統”已量產投入使用，降低了一線工作人員工作強度，可實時監測隔離場所人員動態。此外，工研院正在抓緊研發快速核酸PCR檢測技術和高效霧化給藥技術，預計5月產品將正式問世。
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