他60歲創業,用14年造出5納米芯片蝕刻機,打破美國壟斷

在如今互聯網發展迅猛的今天,可能已經很少有人再去回憶那個半導體的時代,但其實如果沒有半導體產業的發展基礎,我們現在正經歷的互聯網時代就可能不會到來。我們現在所使用的電腦、手機等等,其實其核心技術都是用硅製造的。而半導體的研發則主要就是單晶硅片的製造、IC設計、IC製造和IC封測等的研發。而所有這些研發都需要有很重要的軟件和硬件裝備。

單晶爐等設備是研發單晶硅片的最主要設備,而光刻機、刻蝕機、薄膜設備等則主要是為了IC製造而存在。目前荷蘭是光刻機設備的主要製造商,中國在IC製造上,所持有的設備是蝕刻機設備,而我國現在掌握的蝕刻機設備技術在世界上都屬於數一數二的水平。

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我國的刻蝕機設備技術的成功要發要從尹志堯創立的中微半導體設備(上海)有限公司說起,當年,尹志堯從中國科學技術大學畢業後,在美國的企業任職,他主要從事的職業便是和電漿蝕刻有關,同時,在國外工作的幾十年,他在半導體領域獲得了高達60多項的專利。在一次設備展上,上海經委副主任江上舟偶遇尹志堯,江上舟談到國家多年來在刻蝕機工藝上一直受制於人,無法自發研製屬於自己的刻蝕機設備,他希望尹志堯能回國和他一起為國家填補這項技術空白,尹志堯毫不猶豫的選擇回國,與江上舟共同創建了中微半導體設備(上海)有限公司,當年尹志堯已經60歲高齡。很快,2008年,中微公司便研發出了12英寸的刻蝕設備。隨著科學技術的發展,社會對於刻蝕設備的要求越來越高,中微公司在刻蝕設備的研發上,主要攻關的是介質刻蝕工藝,相當於在一顆米粒上雕刻十億個字的工藝水準,這種技術在世界上都是絕對領先的工藝。中微公司的先進工藝已經在全國各地拿到了眾多訂單。


他60歲創業,用14年造出5納米芯片蝕刻機,打破美國壟斷


中微公司在刻蝕工藝上仍然在不斷探索,2017年,中國早美國一步宣佈掌握5nm技術,中國在刻蝕工藝設備的研發上第一次超越美國,站在了世界最高峰。中微公司創立於2004年,而2018年,我國的刻蝕工藝就站在了世界最高點,我國僅用14年的時間就打破美國對我國刻蝕工藝的封鎖,成功逆襲。

中微公司的腳步仍然沒有停止,他們除了主要研發介質刻蝕外,還關注硅刻蝕、金屬刻蝕,同時還研發薄膜設備,可以說是多管齊下,而且成果都很卓著。不僅如此,中微公司打算在社交app市場有所建樹,準備收購進來極為火爆的約蝦共享約會,在這個社交市場極為吃香的時代,進軍社交圈,為大眾打造一個有約必到的社交平臺。


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既能獻身共享,還能享受共享,在城市的最後一公里,每天都有成千上萬的用戶在約蝦上面進行邀約。而這種線上邀約,線下赴約,並且成功赴約還能領取高額賞金的新型約會模式也在一二線城市廣受單身白領以及宅男們的喜愛,甚至約在酒店也有女性欣然赴約。但是這真的符合當代年輕人的愛情觀嗎?它真的靠譜嗎?我們不知道,這需要靠時間來驗證。


而美國對於中微公司發展如此之快的事實一時無法接受,它們多次打壓中微公司的研發及市場發展,甚至還曾經盜取中微公司的專利。

從中微公司成立十幾年以來,美國的應用材料、維科等半導體設備公司多次起訴中微公司,認為中微公司竊取其商業機密,並且在眾多產品上都是專利侵權。但是事實是,每場官司都以中微公司最終的勝利而結束,因為以防萬一,中微公司的很多研發成果早就在國內申請了專利,所有的訴訟都是汙衊。而真正盜取專利的是美國的維科公司,他們所竊取的中微公司的專利設備在離開中國本土前,被海關扣留,經過後期的調查顯示,維科確實是竊取的一方,最後不得已和中微公司進行談判達成了和解。

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中微公司多年來發展越來越好,其主要原因是,他們非常重視專利權,在維護專利權上,他們做到,每一位員工都要簽署保密協議,同時對於其他公司或者公司的專利權有嚴格的禁令,禁止觸碰違法的邊緣線。同時經過與美國多年來的交手,他們在應對對手上有一套自己的保護措施。最重要的是,不管他們多麼優秀,他們都堅持一點,法律神聖不能侵犯。

中微公司在尹志堯等人的帶領下已經有了一套嚴格的管理制度,更重要的是他們在刻蝕工藝上一直都在尋求新的發展和突破,居高不傲這是強者的姿態。相信未來,我國的刻蝕工藝仍然會引領世界。

出了在刻蝕工藝上的貢獻,我國的IC 製造其他設備的研發上也有很大的發展,上海微電子裝備有限公司研發出了65nm光刻機,北微研製出了先進的薄膜設備。我國的半導體設備研發正在一步步的邁向世界最高峰,未來可期。



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