“神獸”光刻機之戰,大膽猜測哪一家中國公司能夠解光刻機之圍?

培訓廝老房


    光刻機集人類智慧於大成,一臺頂級光刻機的關鍵零部件來自不同的西方國家,德國的鏡頭、美國的光柵、瑞典的軸承、法國的閥件等等,最麻煩的這些頂級的零件對我國是禁運的。可以說我國的光刻機與荷蘭ASML光刻機的差距,客觀上反映了我國與西方在精密製造領域的差距。

    我國的光刻機

    我國的光刻機起步較晚,同時還遭遇了西方國家的技術封鎖,所以目前製造出來的光刻機主要集中於65nm及其以下的工藝。

    目前,我國生產光刻機的企業是上海微電子,成立於2002年,可以量產製程工藝為65nm的光刻機,距離ASML的7nm EUV光刻機還有很遠的距離,而且光刻機技術無法實現跳躍。

    上海微電子也是一家系統集成商,自己並不生產關鍵零部件,做不出高端光刻機也不是它的責任。現在也只能做好中低端光刻機,慢慢培養國內的零部件商,一點一點往上做。


    荷蘭AMSL光刻機

    目前,光刻機的老大是荷蘭的ASML,壟斷了高達80%的市場份額,最先進的EUV光刻機全球也只有ASML能夠生產。

    AMSL光刻機90%的零部件向外採購,整個設備的不同部位同時獲得了世界商最先進的技術,德國的光學設備、美國的計量設備和光源,ASML要做的是精密控制。7nm EUV光刻機有13個系統,3萬個分件,每個動作都要精細,將誤差分散到這13個系統中。

    荷蘭的AMSL還有一個獨特的合作模式,只有投資了ASML才能獲得優先供貨權,而臺積電、三星、海力士、英特爾都是ASML的股東,大半個半導體行業都是ASML的合作伙伴,形成了龐大的利益共同體。


    中芯國際

    我國的中芯國際,已經突破了N+1工藝製程,性能接近7nm,高端光刻機仍然來自於荷蘭的ASML。

    早在2018年,中芯國際就從ASML成功預定了一臺7nm EUV光刻機,但是先是因為失火推遲發貨,後是因為美國方面的阻撓,2020年了,仍然沒有收到這臺7nm EUV光刻機。


    總之,高端光刻機集人類智慧與大成,單靠任何一家企業是無法完成的。由於很多原因,很多精密儀器、高精尖的設備對我國是禁運的,只有慢慢培養國內零部件廠商,一點一點往上走。

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Geek視界


很遺憾的告訴題主,沒有一家中國公司可以解光刻機之圍,並且未來很長一段時間將保持這種狀態。我來簡單說說我國當前光刻機的現狀吧!

1、光刻機需要先進系統製造商

我國目前生產光刻機的系統製造商有幾家,比如無錫影速、合肥芯碩、先騰光電、上海微電子,當前能生產最先進光刻機的系統製造商是上海微電子,量產機型能實現90nm製程工藝,其他廠商的技術還停留在200nm,乃至800nm~1500nm,是不是很吃驚?要知道荷蘭ASML最先進EUV光刻機的工藝達到了7nm,而我們最好的還只是90nm。

我國光刻機在全球範圍內來說,技術處於低端領域,中端市場目前被日系廠商尼康佳能所佔據。在技術落後兩三代的情況下基本沒可能,要求上海微電子短期內實現跨越式成長,從低端趕上中端,然後再全力超過荷蘭ASML幾乎是不可能的。

因此,單從系統製造商這個層面來說,現在的上海微電子無法解決我國缺乏先進光刻機的困擾。

2、光刻機僅有系統製造商不行

光刻機是一個非常複雜的設備,單就上海微電子產的光刻機就有幾萬個配件,想要實現光刻機技術的飛躍,各個核心子系統的製造商不可或缺,沒有他們生產出給力的核心部件,上海微電子就是巧婦難為無米之炊。

就拿光刻機兩個核心子系統光源、雙工件臺來說,目前國內水平有突破,比如上海微電子光刻機使用的鏡頭和光源由長春光機研發,之前該機構研發的“極紫外光刻關鍵技術研究”獲得驗收,可以實現32nm線寬的EUV光刻。而由清華大學領銜的工件臺研發也取得了不錯的成績,目前我國能製造出雙工件臺,是ASML之後唯一的一家,這機器現在可以應用於65nm及以下節點是光刻機。

你看,如果說沒有長春光機和清華的研發,上海微電子光刻機的核心子系統就沒法得到提升,其製造出的光刻機也就沒法擁有更好的製程。但以上只是光刻機中的兩個子系統,還有更多的子系統和配件,如果說其他配件或者子系統供應商技術上不去,那我國光刻機的整體水平依舊上不去。

事實上荷蘭ASML的光刻機能做成,很重要一條因素就是能在全球拿到最好的配件,源自美國的光源,德國蔡司提供的最好鏡頭,光學器件採購自日本廠商,法國瑞段的閥件軸承等等。

Lscssh科技官觀點:

綜合來說,光刻機是一個系統工程,是各個領域技術的集大成者,不僅需要類似ASML這樣系統製造商,還需要類似長春光機這樣的各個配件供應商或者研發機構一同努力,只有整個光刻機產業鏈一同發展一同取得進步,我國光刻機才可能有快速的發展,其中任何一家拖後腿都可能影響到我國光刻機的研發。

因此,沒有一家中國公司可以解光刻機之圍,只有靠舉國之力才可能研發出最先進的光刻機。



Lscssh科技官


感謝您的閱讀!

中芯國際的N+1技術的出現,讓我們對於7nm光刻機似乎就不再擔心了。因為有消息稱,N+1 技術已經可以接近7nm工藝了,甚至可以取代7nm工藝了。這種說法確實有點誇大,雖然我們也知道,它的性能提升 20% 的同時降低 57% 的功耗、並將邏輯面積減少了 63%。

讓我很遺憾的告訴你,雖然它確實提升了性能。可是,它和真正的7nm工藝還是有一段不小的距離,

其實,中芯國際已經非常傑熟練的掌握了14nmFinFET 製程工藝的量產,而中芯國際最新研發出了N+1和N+2工藝,也在不斷的縮小我們在技術方面,和國際社會的差異。可是,光刻機領域,我們還是和ASML有一定的差異性。

  1. 來自於外國技術的封鎖,特別是ASML,它的技術一直是藏著掖著的,即使中芯國際已經獲得了它的7nm 光刻機,但並非是最先進的技術。
  2. 來自於瓦納森協議,這項協議確實禁止我們在一些技術上面使用外國技術,特別是特別是光刻機方面的技術,我們確實處於被協議制約。
  3. ASML的模式我們學不來,一方面它將所有的主要設備廠商作為它的股東,比如說臺積電,三星等等;另外一方面它將世界上所有的最先進技術引入到光刻機中。這種模式,我們很難學習。

確實我們寄希望於上海微電子,但是它的技術目前是90nm光刻機——

可是我們也不需要妄自菲薄。我覺得像中科院等一些國內研究光刻機的機構,他們一定會通過其他的途徑,解決光刻機的問題,繞過技術方面的壁壘,帶來全新的技術升級。


LeoGo科技


中一光學!哪天中一光學鏡頭市場份額超過尼康佳能,就有希望!你們覺得什麼時候做得到?連光學技術都沒達到尼康徍能水平,怎樣去叫板蔡司和徠卡?手機鏡頭廠技術不管用!

光學技術能達到蔡司徠卡水平,不到世界第一,世界第二也跑不掉!


紫水晶9795


如果按照光刻機的發展,我可以負責任的告訴你,永遠沒有可能!因為光刻機是集所有歐美最新最頂級技術大成的產品,我們國家不可能在任何領域都超越別人!但是現在科技日新月異,難保不會出現新的納米技術讓我們彎道超車!就好像現在的5G,已經和以前的通信技術完全不同,所以科技才是第一生產力!我相信我們國家終會登頂世界之巔!


執劍人章北海


我第一個回答一下:

光刻機是一項龐大的系統過程,最新的EUV光刻機一臺就具有10萬零部件以上,重達180噸。

雖然大家都知道目前EUV光刻機是由ASML製造提供的,但是ASML也主要是作為一個EUV系統集成整合提供商,雖然ASML也擁有非常多關鍵技術。

這裡講一下EUV系統主要的三大供應商,

荷蘭ASML,系統整合

德國Zeiss,光學鏡頭系統

德國Trumpf,激光等離子發生器

這三家企業都是各自領域內的全球性巨頭。

這還只是最主要的三家企業,對於需要全球最優秀的企業一起合作才能搞定的EUV系統,

你會覺得中國有哪家企業或是機構可以搞定嗎?

無論是中國最強科技企業(華為)還是最大科研機構(中科院)都無法搞定,只有全國之力才有點機會


集成電路科普者


光刻機按級別應屬於大國重器行列,在沒有很多頂尖配套公司輔助的前提下,需要從國家層面解決問題!世上無難事!


國際莊環保踐行者


聚全國之力,在中國輕而易舉。關鍵問題有幾家企業的技術能夠達到要求。上海中微公司號稱中國最先進光刻機生產公司 但生產的是90nm,離5nm還很遠,更別說2nm了。當下我們應該是兩條腿走路,一是繼續研製,二是向荷蘭施壓 ,既然簽了光刻機買賣合同,就必須執行,欠債還錢,天經地義。毛主席說,打痛了帝國主義,他就會老老實實,服服帖帖。別忘了,不可一世的美帝國主義,在板門店不也乖乖的在停戰協議上簽字了嗎😊


日出佛曉


近期難有中國公司突破。想象看看發動機,我們都奮鬥了這麼久,還沒根本性解決。更別說光刻機了。


瑤池楓橋


不出五年中國就可自產,像當初手機剛出現不是一樣說的神乎其神,如今被中國全面攻破完全自產。相信中國,相信有智慧的中國人民,光刻機我們十年左右可超荷蘭。中國必勝!


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