對於激光干涉儀很多朋友都比較熟悉，但是大家是否有注意到一個小東西，激光干涉儀的配套設備裡面始終有一個身影經常出現，那就是“環境補償單元”。
SJ6000激光干涉儀
在以往演示激光干涉儀時，大部分都是圍繞激光頭和鏡組的架設進行介紹，而“環境補償單元”這個小物件就被一帶而過。所以有些讀者心裡會有疑問：激光干涉儀不是直接測量被檢機床等設備的相關精度參數的嗎？還要這個環境補償器幹嘛呢？
環境補償單位特寫
小編告訴您：激光干涉儀發射出的激光波長是系統測量精度的依據，但激光波長會受到其所通過的空氣介質的折射率影響，影響空氣折射率的因素又包括空氣壓力、溫度及溼度，儘管這種影響比較小，但如果在進行高精度測量時，是有需要對空氣折射等環境影響因素進行補償的。雖然環境補償單元只有一個數據生成器，外加一個空氣溫度探頭和三個材料溫度探頭，如此小巧的東西卻能為測量線性的精度更上一層樓，是不是覺得很奇妙呢？
以下是環境補償器對空氣溫度、材料溫度、空氣溼度以及大氣壓力的補償參數：
空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃
空氣溼度傳感器：±5%RH (0~95)%RH
大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa
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