显微光学成像中的大行程机构放大式压电促动器

显微光学成像是指透过样品或从样品反射回来的可见光，通过一个或多个透镜后，能够得到微小样品的放大图像的技术，其中大行程、高精度机构放大式压电促动器可带动样品做Z向超精密运动，可使观测精度达到纳米级。

机构放大式压电促动器是一种通过机械放大结构将预载的低压压电陶瓷叠堆产生的位移进行放大并垂直输出的促动器。

机械放大结构为椭圆形机械壳体，它的材料一般为钢，它对压电叠堆陶瓷除了提供优化预紧力外，也对叠堆陶瓷起到保护作用，使其免于承受拉力，拉力对压电叠堆陶瓷会产生不可逆甚至致命的损坏。椭圆机械放大结构也为用户提供了易于集成的机械接口。

技术参数

型号：P06.X500R

位移行程：560μm

运动方向出力：100N

刚度：0.25N/μm

静电容量：10.8μF

空载谐振频率：170Hz

开环曲线

典型应用

• 探针扫描

• 光开关、快门/快门防抖

• 激光腔调谐

• 光纤拉伸

• 器件疲劳度监测

• 测流技术

• 液滴发生器

推荐控制器

可配套芯明天单通道小体积E53系列压电控制器，实现Z向高精度定位控制。