南北朝時期，五臺山佛教的發展出現第一個高潮。北魏孝文帝對靈鷲寺進行規模較大的擴建，並在周圍興建了善經院、真容院等十二個寺院。北齊時，五臺山寺廟猛增到二百餘座。到了隋朝，隋文帝又下詔在五個臺頂各建一座寺廟。即東臺望海寺、南臺普濟寺、西臺法雷寺、北臺靈應寺、中臺演教寺。也因為五臺山是文殊菩薩演教的地方，所以這五個臺頂上的寺廟均供奉文殊菩薩，但五個文殊的法號不同：東臺望海寺供聰明文殊、南臺普濟寺供智慧文殊、西臺法雷寺供獅子文殊、北臺靈應寺供無垢文殊、中臺演教寺供孺童文殊。從此以後，凡到五臺山朝拜的人，都要到五個臺頂寺廟裡禮拜，叫做朝臺。此時，五臺山之名已在北齊史籍中大量出現。
尊勝寺塔盛唐時期，五臺山佛教的發展出現了第二個高潮。這個期間據《古清涼傳》，全山寺院多達三百所，有僧侶三千餘人。此時的五臺山，不僅是我國著名的佛教名山之一，而且是名符其實的佛教聖地了，被譽為我國佛教四大名山之首。
五臺山成為佛教聖地，並在中外佛教界發生重大影響，是從唐代開始的。有唐一代是五臺山佛教發展史上的一個關鍵時期。
李唐王朝起兵太原而有天下，所以視五臺山為“祖宗植德之所”。李淵在起兵反隋時，就對佛教許下大願，如果當上皇帝，一定大弘三寶。武德二年（619）李淵便在京師集聚高僧，立十大德，管理僧尼事務。唐太宗即位後，重興譯經事業，使波羅頗迦羅蜜多羅主持，又度僧三千人，並在舊戰場各地建造寺院。貞觀九年（635），太宗下詔曰：“五臺山者，文殊必宅，萬聖幽棲，境系太原，實我祖宗植德之所，切宜祗畏。”“是年，台山建十剎，度增數百。”
武則天在爭奪皇位的鬥爭中，非常重視佛教的作用。長壽二年（693），名僧菩提流志等呈上新譯《寶雨經》，稱菩薩現女身，為武則天上臺大造輿論。證聖元年（695），武后命菩提流志和實叉難陀重新翻譯《華嚴經》。聖歷二年（699）譯畢。新譯《華嚴經》說：“東北方有處，名清涼山。從昔以來，諸菩薩眾於中止住。現有菩薩名文殊師利，與其眷屬諸菩薩眾一萬人，俱常在其中而演說法。”長安二年（702），武則天自稱“神遊五頂（清涼五臺山的五大高峰）”，敕命重建五臺山的代表寺院清涼寺。竣工後，命大德感法師為清涼寺住持，並封其為“昌平縣開國公，食邑一千戶，主掌京國僧尼事。”
這是五臺山在全國佛教界取得統治地位的發端，也是五臺山在封建統治者的利用和主持下，發展成為名山聖地的開始。
據記載，唐代自太宗至德宗，“凡九帝，莫不傾仰靈山，留神聖境，御札天衣，每光五頂，中使香藥，不斷歲時，至於百辟歸崇，殊幫齎供，不可悉記矣。”顯而易見，從唐太宗到唐德宗，都對五臺山佛教給予極大的支持和扶助。 從佛教經典來看，除新譯《華嚴經》說文殊菩薩住處“名清涼山”外，《佛說文殊師利寶藏陀羅尼經》也雲：“佛告金剛密跡王言：我滅度後，於此南贍部州東北方，有國名大震那，其中有山名五頂，文殊童子游行居住，為諸眾生於中說法。”
由於佛教經典中所說的文殊菩薩住處——“清涼山”“五頂山”，同五臺山的地形、氣候、環境，極為相似，所以，中外佛教徒便把五臺山這個“五峰聳出”“曾無炎暑”的自然場所，當作是他們虛幻世界裡的文殊菩薩住地了。五臺山由此馳名中外，顯赫於世，成為佛教徒競相朝禮的聖地。不言而喻，五臺山是藉助於李唐王朝的強盛而成為聖地、名揚中外的。
在唐代，佛教備受推崇，文殊菩薩尤其為佛教徒所尊崇。當時國家規定，全國所有寺院的齋堂，都必須供奉文殊菩薩聖像。由於朝野都尊奉文殊菩薩，視五臺山為佛教聖地，所以五臺山空前隆盛，名僧輩出，澄觀就是一個突出的代表。澄觀，（738－839），俗姓夏侯，字大休，越州山陰（今浙江紹興）人。十一歲，在應天寶林寺出家，十四歲得度，三十九歲時，“誓遊五臺，一一巡禮。”在遍訪五臺山名剎勝蹟之後，留居大華嚴寺研習《華嚴經》，在寺中主講《華嚴經》五年。後來，澄觀覺得“華嚴舊疏，旨約文繁。”於是，“旦暮策懷，思惟造疏。”唐德宗興元元年（784）四月八日，澄觀謝絕交遊，在大華嚴寺制疏閣重新註疏《華嚴經》。至德宗貞元三年（787）十一月五日，歷時三年多，終於著述出《大方廣佛華嚴經疏》六十卷。唐代宗時，澄觀被代宗“事以師禮”。唐德宗又尊其為“教授和尚”，“詔受鎮國大師號，進天下大僧錄。”憲宗即位，“敕有司別鑄金印，遷賜僧統清涼國師之號，統冠天下緇僧，主教門事。”“穆宗、敬宗鹹仰巨休，悉封大照國師。文宗太和五年，帝受心戒於師。開成元年，帝以師百歲壽誕，賜農財食味，加封大統國師。”“中外臺鋪重臣，鹹以八戒禮而師之”。
澄觀“生歷九朝，為七帝師”，於唐文宗開成四年（839）卒，壽一百零二。唐文宗“特輟朝三日”，命“重臣縞素”，隆重葬之。被尊為“華嚴宗第四代祖師”。有唐一代，五臺山名僧輩出，這也是五臺山佛教聖地形成的一個重要標誌。
五臺山佛教聖地形成的另一標誌，是佛教寺院的大規模興建和僧侶人數的增加。在唐代，五臺山見諸記載的佛寺就有七十餘所，其規模都十分宏偉。
隨著佛寺的興建和擴大，五臺山的僧侶人數亦日益增多。唐德宗貞元年間，合山僧尼達萬人之眾。寺院的興旺發展引起對社會政治、經濟的重大負面影響，唐文宗遂於會昌五年（854）下詔廢佛，命令拆毀寺字，勒令僧尼還俗。綜計全國拆毀大小寺廟四萬四千六百餘所，僧尼還俗二十六萬餘人，收回土地數千萬頃。五臺山亦不例外，僧侶散盡，寺廟被毀。唐宣宗即位，又再興佛教。政府規定五臺山的僧數仍達“五千僧”。實際上，加上私度和遊方僧，要比“五千僧”多得多。縱觀歷代五臺山的僧侶人數，以唐代為最多。寺廟林立，僧侶若雲，這也是唐代五臺山佛教聖地形成的一個標誌。
唐代五臺山佛教聖地形成的另一個標誌，是外國佛教徒對五臺山的無限景仰和競相朝禮。唐朝經濟繁榮，國勢強盛，在國際上聲望甚高，是亞洲各國經濟文化交流的中心。隨著國際交往的擴大，五臺山還受到印度、日本、朝鮮和斯里蘭卡等國佛教徒的景仰。朝禮五臺山和到五臺山求取佛經、佛法的外國僧侶很多。
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