[文章導讀] 真空等離子清洗機的反應腔室常見的材質包括石英玻璃、不鏽鋼和鋁合金等,不同行業和應用領域的選擇會有所區別。用於半導體行業的等離子清洗機大多采用鋁合金,這是為什麼呢?
半導體行業用於清洗、刻蝕的等離子清洗機對真空反應腔室的材質選擇比較講究,畢竟處理晶圓、支架等產品對工藝環境的要求很高。誠峰智造等離子清洗機選擇鋁質腔體大致有以下一些原因:
1、 鋁合金密度低,強度高,超過優質鋼,機械加工性能比較好。
2、 鋁具有優良的導電性、導熱性和抗蝕性。
3、材料對化學反應的兼容性比較好,不易產生金屬汙染、particle等。
4、表面處理方面鋁合金較為豐富,包括電泳、噴塗、陽極氧化等。
5、趨膚深度鋁是不鏽鋼的10倍以上,使得電流分佈更均勻,腔體不容易發熱。
以上關於半導體行業誠峰智造等離子清洗機選用鋁質腔體的原因描述清楚了嗎?您有什麼異議或更好的補充呢?歡迎大家留言與我們交流和分享。
閱讀更多 爆爆科技 的文章