集微網消息（文/圖圖）據新疆眾和官方消息，新疆眾和超高純鋁濺射靶基材實現批量供應。
據悉，在超高純鋁濺射靶基材研發方面，新疆眾和經歷了數次失敗和總結探索，開發出全套生產工藝和技術，獨立於歐洲海德魯和日本住友化學體系外的第三條完整產業鏈，產品不僅全面符合市場要求，還成功實現了批量供貨。
據新疆眾和官方介紹，作為我國鋁電子新材料研製企業，是國內最早規模開發、生產高純鋁的企業，擁有全球最大的高純鋁生產基地。新疆眾和通過與集成電路相關企業承擔國家專項項目聯合研發，包括北京有色金屬研究總院、寧波江豐電子材料股份有限公司等企事業單位、科研院所共同承擔國家科技重大專項“極大規模集成電路製造設備及成套工藝”等，完成實驗室工藝摸索。
同時，新疆眾和還建設超高純鋁濺射靶基材中試工廠，相繼克服了超高純鋁（5N5）規模生產過程中雜質元素汙染、產品表面質量及內部晶粒組織細化控制、氫含量必須小於0.1ppm、晶粒取向控制等一系列難題，最終研發出超高純鋁濺射靶基材的工藝技術，成為國內唯一一家可以規模生產超高純鋁濺射靶基材企業，鋁純度可達到99.9995%（5N5）。（校對/小北）
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