1.2億美元7納米極紫外線光刻機,工作時像看科幻片一樣!

荷蘭阿斯麥(ASML)公司的光刻機作為世界上最貴最精密的儀器,相信大家都有耳聞,它是加工芯片的設備。其最先進的EUV(極紫外光)光刻機已經能夠製造7nm以下製程的芯片,據說一套最先進的7納米EUV光刻機價格高達1.2億美元,比一架波音737都貴。

下面是最近ASML公佈的極紫外光光刻機內部加工時的鏡頭,十分震撼:

在這臺光刻機中,每秒在真空環境中,從底部容器流出5萬滴融化的錫液,一對激光束照射每一滴液體產生等離子體,釋放出更短的波長,超高精度的反射鏡引導光線....7納米極紫外線光刻機,分為13個系統,3萬個分件,作動時每一分都要精準。

1.2億美元7納米極紫外線光刻機,工作時像看科幻片一樣!



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