Mems加速度计是可以测量加速度的微传感器，由于成本低、体积小的特点受到各行业的关注。根据实现原理不同，Mems加速度计主要分为三类，不同实现原理导致mems加速度计的灵敏也不同。
三种mems加速度计的各项性能对比
电容式mems加速度计的实现原理是通过惯性质量块在加速度作用下引起悬臂梁变形，进而引起电容变化，通过对其变化的检测获得加速度的数据。电容式mems加速度计的优势是灵敏度高、噪声低、漂移小，从图中也不难看出，智腾微电子推出一款适用中高端惯性领域的电容式mems加速度计SiA200系列，长期零偏重复性3.6mg，尺寸更小9*9mm²。
电容式mems加速度计SiA230外观图
压电式mems加速度计采用压电效应，物体运动时内置质量块会产生压力，使支撑的刚体发生应变，加速度变成电信号输出。其特点是尺寸小，重量轻。
压阻式mems加速度计通过压敏电阻阻值的变化来实现对加速度的测量，具有结构、制作工艺和检测电路都相对简单的特点。市面上几块钱的mems加速度计基本都是压阻式mems加速度计。
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