國產光刻機關鍵技術獲突破,國產芯片指日可待!

“要把美國卡脖子的清單便成科研任務清單”,中科院院長白春禮在前段時間的一段發言,令人振奮。他表示,將集中全員力量來攻克光刻機、航空輪胎等難題。有著中科院在前方的引領,國產光刻機有望迎來曙光,國產芯片產業將逐漸走向安全可控。

國產光刻機關鍵技術獲突破,國產芯片指日可待!

大家都知,光刻機有著“精密機械上的皇冠”之稱,研製難度極大,目前全球排得上名的光刻機企業,僅ASML、尼康、佳能三家。而ASML則走在行業最前列,是集成西方科技企業高端技術的產物,是技術集大成者。並對EUV光刻機完全壟斷。頂級光刻機的製造難度在於,其鏡頭、激光系統等核心零部件研製難度便不小。

國產光刻機關鍵技術獲突破,國產芯片指日可待!

光刻機所需的所有材料都是由各個行業的頂尖高新企業研發的!例如光刻機的鏡片僅蔡司能夠提供。一臺高端光刻機有十幾萬個零部件,想要打通全產業鏈同樣有極高的難度。其實我國在光刻機領域的配套技術已有相當的基礎,並且在光刻機關鍵技術——極紫外光光源領域,也實現了不小的突破。

國產光刻機關鍵技術獲突破,國產芯片指日可待!

中科院長春精密機械與物理研究所(簡稱“長春光機所”),是我國首個光學領域研究所。中國首臺大型電影經緯儀、首臺紅寶石激光器等,均出自長春光機所之手

。20世紀90年代時,長春光機所便在EUV/X射線成像領域展開了研究,並打下了理論基礎。

國產光刻機關鍵技術獲突破,國產芯片指日可待!

經過8年的不斷研究,長春光機所在13.5nm波長極紫外光上取得突破,並建立EUV光刻曝光裝置。由此,極紫外多層膜、超高精度非球面加工與檢測等等,在這些限制我國極紫外光刻發展的核心單元技術上,長春光機所實現了長足的進步。

國產光刻機關鍵技術獲突破,國產芯片指日可待!

2017年,由長春光機所牽頭的“極紫外光光刻關鍵技術研究”項目,成功實現驗收。有著長春光機所的研究作為基礎,中科院在光刻機領域的研究會順利許多。當前,我國芯片產業還有著明顯的落後,由於是高端芯片製造亟待進步。受此影響,在美國禁令生效後,華為高端芯片陷入無芯可用的境況。

國產光刻機關鍵技術獲突破,國產芯片指日可待!

而華為只是一箇中美貿易摩擦之下的縮影,若是中國不盡早掌握芯片自主權,那麼華為的情況很可能再次上演。因此,在這樣的情況下,白春禮院長才更要說出將美國卡脖子清單,變為科研清單,這樣鏗鏘有力的話。


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