国产光刻机关键技术获突破,国产芯片指日可待!

“要把美国卡脖子的清单便成科研任务清单”,中科院院长白春礼在前段时间的一段发言,令人振奋。他表示,将集中全员力量来攻克光刻机、航空轮胎等难题。有着中科院在前方的引领,国产光刻机有望迎来曙光,国产芯片产业将逐渐走向安全可控。

国产光刻机关键技术获突破,国产芯片指日可待!

大家都知,光刻机有着“精密机械上的皇冠”之称,研制难度极大,目前全球排得上名的光刻机企业,仅ASML、尼康、佳能三家。而ASML则走在行业最前列,是集成西方科技企业高端技术的产物,是技术集大成者。并对EUV光刻机完全垄断。顶级光刻机的制造难度在于,其镜头、激光系统等核心零部件研制难度便不小。

国产光刻机关键技术获突破,国产芯片指日可待!

光刻机所需的所有材料都是由各个行业的顶尖高新企业研发的!例如光刻机的镜片仅蔡司能够提供。一台高端光刻机有十几万个零部件,想要打通全产业链同样有极高的难度。其实我国在光刻机领域的配套技术已有相当的基础,并且在光刻机关键技术——极紫外光光源领域,也实现了不小的突破。

国产光刻机关键技术获突破,国产芯片指日可待!

中科院长春精密机械与物理研究所(简称“长春光机所”),是我国首个光学领域研究所。中国首台大型电影经纬仪、首台红宝石激光器等,均出自长春光机所之手

。20世纪90年代时,长春光机所便在EUV/X射线成像领域展开了研究,并打下了理论基础。

国产光刻机关键技术获突破,国产芯片指日可待!

经过8年的不断研究,长春光机所在13.5nm波长极紫外光上取得突破,并建立EUV光刻曝光装置。由此,极紫外多层膜、超高精度非球面加工与检测等等,在这些限制我国极紫外光刻发展的核心单元技术上,长春光机所实现了长足的进步。

国产光刻机关键技术获突破,国产芯片指日可待!

2017年,由长春光机所牵头的“极紫外光光刻关键技术研究”项目,成功实现验收。有着长春光机所的研究作为基础,中科院在光刻机领域的研究会顺利许多。当前,我国芯片产业还有着明显的落后,由于是高端芯片制造亟待进步。受此影响,在美国禁令生效后,华为高端芯片陷入无芯可用的境况。

国产光刻机关键技术获突破,国产芯片指日可待!

而华为只是一个中美贸易摩擦之下的缩影,若是中国不尽早掌握芯片自主权,那么华为的情况很可能再次上演。因此,在这样的情况下,白春礼院长才更要说出将美国卡脖子清单,变为科研清单,这样铿锵有力的话。


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