集微網消息（文/小北）近日，江蘇魯汶儀器完成過億元B輪融資，本輪融資由中科創星領投，中冀資本、中域資本、祥暉資本、紅星美凱龍、中傑投資等多家投資機構跟投，老股東漢唐周本輪繼續追投數千萬元。
據悉，魯汶儀器本輪融資資金主要用於團隊建設、設備快速研發和迭代，市場拓展備貨等方面。
魯汶儀器成立於2015年，針對半導體科研設備市場推出了一系列設備，如ICP刻蝕、IBE刻蝕、PECVD沉積設備、ICP-CVD沉積設備、檢測設備等，目前魯汶儀器在國內半導體科研設備市場已經佔據一席之地。
據中科創星官方消息，魯汶儀器創造性的提出了ICP+IBE+PECVD多腔體刻蝕技術方案，配合魯汶儀器專利技術的腔體在線清洗技術，目前已獲得多家國內外頂級研發機構、生產企業的高度評價，有望解決困擾業界的磁性薄膜材料刻蝕難題，為MRAM存儲器的大規模量產提供可靠、經濟的刻蝕解決方案。
在研發磁存儲器刻蝕設備的同時，魯汶儀器還針對國內8英寸集成電路產線擴產困難的情況，開發出了量產型的金屬刻蝕機等裝備，目前該設備已與多家國內主流企業達成合作意向。（校對/小如）
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