由一系列並排運行的波導組成（頂部圖片所示）的壓力傳感器。當波導之間的間隙變窄，來自通道1的光線
據麥姆斯諮詢報道，韓國科學家研發出一種基於光照的新型壓力傳感器，它可以創建更為敏感的人造皮膚，使機器人、可穿戴人體血壓監測儀和光學透明的觸摸屏及設備更好的觸摸感。
研究人員在光學學會（OSA）的期刊Optics Letters上報告了這種新型壓力傳感器。該傳感器通過分析嵌入在聚二甲基硅氧烷（PDMS，一種常見的有機硅）中的微小隧道的光量變化來檢測壓力。研究人員表示，與之前的壓力傳感器相比，哪怕是非常輕微的壓力，這種靈活、透明的設備也能感應到，而且不易發生故障，因此將嵌入式光學傳感器穿過大面積區域也是可行的。
韓國大田電子和電信研究所的Suntak Park說：“有機硅片可以放在顯示器面板上以啟用觸摸屏，或者可以作為人造皮膚層包裹在機器人表面，用於觸覺交互。考慮到PDMS是一種非常知名的生物兼容且無毒的材料，傳感器片甚至可以應用於人體上或人體內部，例如，可用於人體血壓監測。”
在諸如空氣動力學和流體動力學等研究領域，測量曲面上的壓力分佈非常重要。Park表示，該傳感器可用於研究飛機、汽車和船舶表面的壓力效應。
避免干擾
如今現有的壓力傳感器大多數都是基於電子器件的。例如，通常用作加速度計、流量計和氣壓傳感器的壓阻傳感器，在受到機械應變時會改變其電阻大小。而電子系統的問題在於它們可能會受到來自電源、附近儀器和帶電物體的電磁干擾。它們還含有金屬成分，可以阻擋光線進入並受到侵蝕。
“我們的傳感器就不會出現這些問題，因為傳感裝置嵌入在硅橡膠板中間。”Park說，“與電氣方法相比，我們的光學方法更適用於大面積的、抗電磁干擾和高視覺透明度的應用。”
利用光照感測壓力
文章開頭提到的裝置的工作原理是通過精確排列的一對微管（即光子隧道結陣列）來測量光的流動。“壓敏光子隧道結陣列由光導通道組成，外部壓力會改變通過它們傳輸的光的亮度。”Park說，“這就類似於閥門或水龍頭在分流節點上的工作方式。”
這些管道或波導彼此平行嵌入在PDMS中。有一部分管道之間距離足夠近，就能夠使通過第一管道（通道1）的光進入到第二通道（通道2）。當施加壓力時，PDMS被壓縮，就可以改變通道之間的間距，那麼會有更多的光進入通道2。同時，壓力的增加還會引起PDMS中光線折射率的改變。
光線通過一端的光纖進入設備，由另一端的光電二極管收集。隨著壓力的增加，通道1中的光線越來越少，更多的光線湧入到通道2中。通過測量來自每條通道遠端的光的亮度，研究人員可以知曉施加了多少壓力。
雖然已經開發出了其他光學壓力傳感器，但這是第一個將傳感結構嵌入到PDMS內的器件。而嵌入式設備可以保護系統免受侵害。
測試結果
為了測試該裝置，研究人員在傳感器頂部放置了一個“壓力觸點”並逐漸增加壓力。在一個長度為5mm的傳感器中嵌入50μm厚的PDMS板，研究人員在大約40千帕（kPa）的壓力下，測量出光學功率的變化為140%。這個實驗表明，該裝置能夠檢測低至1kPa的壓力，與人類手指的敏感度大致相同。而心跳之間的血壓變化約為5千帕，因此該裝置完全可用於人體血壓監測。
Park說，我們需要採取幾個步驟讓傳感器從實驗室走出，應用到實際設備上。一是開發一種更簡單的方式來連接將光線移入和移出傳感器的光纖。在開發原型時，研究小組就使用了精密校準工具，不過這對於大多數商業應用來說過於昂貴和耗時。如今有一種被稱為尾纖的替代方法，電信公司用它來耦合系統中的光纖，應該會讓這個過程更容易一點。
此外，該小組還使用了一維傳感器測試了他們的設備，而大多數應用需要二維傳感器陣列。該測試通過將一維薄片旋轉90度，再將其放置在另一個薄片上面，從而創建交叉陰影陣列來實現。傳感器的尺寸和間距需要針對不同的應用進行改變或優化。
延伸閱讀：
《MEMS壓力傳感器市場和技術-2018版》
《MEMS壓力傳感器對比分析-2018版》
《光學傳感市場-2017版》
《Melexis絕對壓力傳感器：MLX91802》
《全球最小MEMS氣壓傳感器：意法半導體LPS22HB》
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