國產裝備砥礪前行!G6 AMOLED溼法刻蝕機通過首臺(套)重大裝備認證

中國AMOLED產業投資近幾年達到高潮,根據CINNOResearch數據統計,目前中國大陸共有17條AMOLED產線, 投資金額在未來三年均維持在1000億人民幣左右的規模。

國產裝備砥礪前行!G6 AMOLED溼法刻蝕機通過首臺(套)重大裝備認證


在AMOLED生產線投資中,設備投資部分佔比高達80%以上,但其中90%以上均被韓日等海外設備廠佔據,國產設備僅僅在非核心的自動化和檢測設備方面佔據部分份額。核心設備國產化率低這個問題嚴重製約了我們從顯示製造大國向顯示製造強國的產業升級之路。

根據CINNOResearch數據,目前國產設備在自動化和檢測領域的滲透率達到18%左右,已經可以和國外先進製造商平等競爭,但在成膜技術(PVD,CVD,Evaporator)和曝光技術等方面,我們和國外存在較大的技術差距,短期難以追趕突破。而在溼製程這個領域,目前國產化滲透率在3%左右,這將是未來國產設備最有望實現突破的核心設備領域。


國產裝備砥礪前行!G6 AMOLED溼法刻蝕機通過首臺(套)重大裝備認證


在面板製造工藝中,溼製程設備即使用水,洗劑或化學品等液態物質對玻璃基板進行加工的工藝設備,包含玻璃基板清洗設備(Cleaner),光阻塗布顯影設備(Coater&Develop),溼法刻蝕設備(Wet Etching)和光阻剝離設備(Stripper)。目前這部分設備暫時被韓日設備商壟斷。

在中國廠商中,晶洲裝備成功取得國內某AMOLED面板廠G6溼法刻蝕設備和光阻剝離設備訂單,並於2018年初順利出貨,實現了國產設備在溼製程領域的突破。根據我們掌握的信息,目前該設備作為關鍵工藝製程設備已在客戶量產線正常運行使用。

晶洲裝備在溼製程設備領域不斷進取突破,不但獲得了來自客戶的認可,並得到政府和社會的肯定。近日再次傳來喜訊,蘇州晶洲裝備科技有限公司G6 AMOLED溼法刻蝕機成功入選2018年江蘇省“首臺套”重大裝備產品,填補國內空白的同時,打破了國外進口設備的壟斷局面,並且在結構設計、功能實現上與進口設備媲美。


國產裝備砥礪前行!G6 AMOLED溼法刻蝕機通過首臺(套)重大裝備認證


晶洲裝備自主研發設計生產的“G6 AMOLED 溼法刻蝕機”,主要應用於G6 AMOLED平板顯示製程的陣列(Array)段,其原理是利用化學的方法對經過曝光與顯影后的基板表面金屬膜層進行均勻刻蝕,進而形成光刻定義的電路圖,是刻蝕工藝的核心載體設備。晶洲裝備率先研製了極紫外表面改性系統、刻蝕藥液溶度控制系統、高速藥液置換系統等,並將其應用於“G6 AMOLED 溼法刻蝕機”,實現刻蝕過程的高度均勻性及穩定性。該項目共形成知識產權21項,其中,獲得授權發明專利2項,實用新型專利13項,同時,作為首臺套重大裝備,江蘇省政府進行保費補貼扶持,為首臺套重大裝備的穩定運行與操作安全保駕護航,保險裝備出現零部件、元器件損壞或失效、修理、更換、退貨,並由此引起的鑑定費用、運輸費用、交通費用以及保險裝備出現的責任範圍內事故造成第三者責任等皆有保險公司賠付。

中國作為全球最大的消費電子市場,在一些核心技術和設備上無法突破,屢屢受制於人。在平板顯示領域,由於國內相關產業發展晚於日韓企業,國外的技術壟斷與封鎖等原因,造成該領域的前、中段生產設備主要仍由國外企業壟斷。此次晶洲裝備AMOLED溼法刻蝕機首臺套重大裝備的成功認定,是平板顯示領域溼法裝備國產化的新高度,同時也體現晶洲裝備努力奮進,繼續前行的決心。

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