載能束是指電子束、離子束、激光束

全球經濟騰飛的大潮,勢不可擋,洶湧澎湃,挑戰著科學、技術、產業、文化的經絡,展示出未來21世紀的宏偉藍圖。材料仍然是21世紀經濟發展的柱石,科學家們已經預言:非晶態如繁星密佈;高溫超導將掀起第四次技術革命;納米將是21世紀的材料新單元;高分子將功蓋全球。這一切將匯成21世紀的最強音,人類的文明將進入新紀元。

載能束是指電子束、離子束、激光束

載能束巧奪天工

載能束是指電子束、離子束、激光束。將這些具有高能的束流強行注入材料內部,在材料的表層可以迅速加熱到高溫,也可以實現快速冷卻,冷卻速度達每秒1012攝氏度。這兩種作用和載能束的本身都能對材料發揮奇特的作用。載能束本身的離子作為摻雜物質,摻入材料表面,能改變材料表面的成份。快速加熱和快速冷卻,會引起材料內部的結構變化,使原子重新組合,新的化合物可由此產生。

載能束是指電子束、離子束、激光束

制膜術交響曲

當人們暢遊在高科技的商品市場時,會驚奇地看到許多小巧美觀、令人愛不釋手的電子整機,如袖珍型電視機、盒式錄像機、微型計算機等等。這些產品之所以小巧玲瓏,是由於微電子技術的迅速發展。微電子技術已進入製作超大規模集成電路及其微組裝階段。在微組裝中使用多層佈線板、各種微型片式元件(包括各種集成電路)和表面安裝技術(即納米技術)。若剖析這些奇異的電子整機,不難發現,它們的各部分所用的材料基本上是薄膜,可見功能薄膜是微電子技術的基礎。

載能束是指電子束、離子束、激光束

在高科技蓬勃發展的今天,向材料科學提出了特殊要求,其中之一就是要求提供性能極為穩定的控制和測量元件。宇航和生物醫學要求的微型元件,特殊功能的高性能微元件,太陽能電池等,都要求製作出純度很高,厚度是幾百到幾個微米的膜質優良、厚度均勻的功能膜。在高科技發展的大潮中,各種各樣功能膜的製備,匯成了美妙的制膜技術交響曲。

載能束是指電子束、離子束、激光束

展望微電子工程,從單晶硅片到晶體三極、二極管及傳感器等,都需要建立高級的嚴密的制膜技術。要想在1/1000毫米到3/100毫米厚的單晶硅層上摻入磷或銻以變成一個半導體層,必須經過一系列制膜技術製成器件,需要按不同要求鍍上膜,並在上面劃出幾百甚至是上千個彼此孤立的分區,這些分區都有截然不同的特性和功能,每個區域就是不同的器件,它們都承擔一種結構元件的功能。可見,薄膜技術十分重要,而技術要求又是十分苛刻的。


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