光刻机:当前人类科技的最高集成

经常有人会讨论,代表人类科技最高成就的是什么?有的人会回答是飞机大炮,有的人会回答是原子弹氢弹代表的核子武器,还有人会觉得是人类战胜各种疾病,病毒细菌的科技,但是今天我将要介绍能够集成人类所有知识来做到极致的终极科技,那就是光刻机。

什么是光刻机呢,简单说是使用光作为介质,在硅片上来加工的机器,硅片可以理解为使用沙子制作成的切片,见下图。

光刻机:当前人类科技的最高集成

晶圆,原始的硅片

我们也可以理解为我们使用的手机,以及电脑的核心--处理器芯片的原材料,硅片的获取并不需要太复杂,复杂的是生产一张芯片需要各种高精尖科技和其他材料来完成的,就要说到光刻机的技术了。

我们都知道,无论是手机还是电脑,离开了处理器是无法工作的,处理器的体积都是很小的,手机上面的处理,一般就是指甲盖大小的尺寸,电脑的稍微大一些,但是也不会超过人的手掌,而且还会向体积更小的尺寸去发展。但是就是在这么狭小的空间里面,需要集成几十亿到几百亿的晶体管,只有在处理器上集成更多的晶体管,处理器的处理能力才能更强,我们熟知的华为麒麟处理器,在指甲盖大小的芯片里面集成了69亿晶体管,处理能力和逻辑运算能力极大提升。

光刻机:当前人类科技的最高集成

华为发布旗下麒麟980处理器

那么如何在指甲盖大小的芯片上集成那么多晶体管呢?这就需要使用光刻机在硅片表面实现曝光,蚀刻,清洗,显影等的全过程,这些看起来好像日常生活中都很容易实现的操作,但是在如此小体积和面积的尺寸上实现起来就不是那么轻易了,光刻机的分辨率通常在十几纳米到几微米之间,高端光刻机的价格是非常昂贵的,芬兰ASML的光刻机一度达到1.2亿美元一台的价格,而且并不是有钱就可以买得到的,欧美因为有时是实现技术共享的,但是对于我们来说,不要说买,看都不让看的,所以我们还是需要加大科技投入的,不断的自力更生,艰苦奋斗。

光刻机:当前人类科技的最高集成

简单的光源扫描工作原理

有人可能看过郭富城和周润发演的《无双》,一个制造假美钞的团队,在电影情节上会看到需要制造原始的电路板,需要在大尺寸上绘画美钞的各种细节,然后投影到面积更小的电路板上,其实也是使用的光刻机,但是在美元上尺寸不会达到芯片那么精细,制作假钞需要是绘制技巧和防伪技艺,但是都有异曲同工的意味。

光刻机:当前人类科技的最高集成

光刻机

光刻机最重要的部件之一就是紫外光源,常见光源有436nm的g光源,紫外光有365nm的i光源,还有其他各种尺寸的光源,这些尺寸的光源,也只有在集成很多光束的时候,我们的肉眼可以看得清楚,就是用极微小的光作为刀锋,来在硅片上蚀刻,曝光必须要均匀,这都对技术标准提出了极高的要求。上世纪七十年代使用的接触式曝光,发展到接近式曝光,再到投影式曝光,从大于1μm工艺到0.35μm,再到曝光区域到22X22mm,现在的曝光已经小于0.18μm,对于机械系统的精度要求提出了更高的要求。

光刻机:当前人类科技的最高集成

光刻机

最后让我们来回顾一下,光刻机是为芯片服务的,从第二次工业革命,计算机的诞生开始,它就代表了人类科技的最高体现,我们所理解的所有微观世界,只有在能够达到实现的技术的时候,才会知道是多么的不容易,当然,人类科技总是不断进步的,也希望我们国家能够在光刻机这种高精尖的科技领域发展的更好,最近我国“超分辨光刻装备项目”已经通过国家验收,能够加工22纳米芯片,这是我们突破高新科技受制于人的又一重大进步。

国人当自强,我辈奋勇前行!


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