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撰稿|渾水調研研究員 高甜甜

10月27日，國內節能設備龍頭雙良節能（600481）子公司江蘇雙良新能源裝備有限公司（下稱“雙良新能源”）與江蘇卓遠半導體有限公司（下稱“卓遠半導體”）達成戰略合作，雙方將在“集成電路級大尺寸高性能單晶硅的生長智能裝備技術的開發合作”以及“第三代半導體碳化硅晶體批量生產項目的量產化技術”開展深度合作。

據瞭解，目前大直徑（12英寸以上）高性能單晶硅的生長工藝和設備技術仍被國外企業壟斷。此次雙良與卓遠半導體的合作，將憑藉各自積累的技術優勢，填補國內大尺寸單晶硅生產設備領域空白，並推動第三代半導體碳化硅（SiC）晶體量產化，實現國內半導體產業在高端裝備製造領域自主化取得新突破。

國內單晶硅產業鏈的痛點

在同日開幕的第二屆中國·如皋第三代半導體及智能製造國際研討會上，雙良低碳產業技術研究院章國明博士介紹，單晶硅是被廣泛用於製造超大規模集成電路、半導體芯片、記憶體芯片和中低頻、中低功率器件等，是現代信息社會不可或缺的基礎物質。我國目前已較為全面地佈局了IC 硅全產業鏈，並在磊晶階段日趨成熟，但在晶圓和設備製造環節仍在努力實現突破。

目前，世界市場上90%的電子級大尺寸單晶片供應都由世界前五家頭部企業壟斷。國內用於製造大規模集成電路的 8-12 英寸單晶硅，絕大部分來自進口。而用於製造極大規模集成電路的大直徑（12英寸以上）高性能單晶硅，其生長工藝、設備技術等更被國外企業壟斷。

章國明認為，中國企業要想不被“卡脖子”，瞄準世界水平實現技術追趕、並憑藉市場彎道超車，單晶硅及其生產裝備完全自主化是必由之路。在國家政策與市場機遇的驅動下，雙良攜手卓遠半導體，開啟“大直徑高性能單晶硅生長設備研發”，具有重要而深遠的意義。

兩強聯手會有哪些突破？

資料顯示，雙良新能源是國內專業配套多晶硅行業的系統設備集成服務商，已經為國內10家多晶硅行業骨幹企業提供穩定服務。迄今為止，雙良新能源已累計為全國多晶硅企業提供了五千多套生產設備。

卓遠半導體由“國家千人計劃”人才、留德博士張新峰領銜創立，在設備和熱場設計、軟件開發、工藝研發等方面擁有較強技術優勢，並藉助德中工業創新發展中心和海內外高等院所，目前正著力發展“第三代半導體”碳化硅（SiC）晶體的裝備製造和晶圓生產業務。

此次合作，卓遠半導體能夠依託雙良的質量體系管控實力、多晶硅裝備製造核心技術和自動化控制系統開發能力、相關產業設施配套資源，以及雙良節能旗下的雙良低碳產業技術研究院的團隊支持，在單晶爐設備研發方面獲得最優最快的機械加工製造條件和行業生產經驗。

事實上，早在進入多晶硅行業之初，雙良新能源就始終堅持多晶硅還原核心繫統的研發，勇於打破國內多晶硅技術和市場長期被國外公司壟斷的局面，掌握核心技術領域的主動權。目前，雙良還原爐系列已擁有18對棒、24對棒、36對棒、40對棒、48對棒、72對棒的規格。按照電子級多晶硅要求設計製造的24對棒還原爐也已取得了成功應用，在性價比方面相較進口設備更具競爭優勢。

通過此次合作，雙良將藉助卓遠半導體在晶體材料及全自動智能設備製造方面的專業經驗和優勢資源，快速進入半導體單晶爐及第三代半導體碳化硅高端裝備製造領域，進一步實現由傳統制造向高科技智能製造的轉型升級。