據外媒11月6日報道，歐洲最大半導體設備供應商阿斯麥爾（ASML）中止了對中芯國際的極紫外（EUV）光刻機供貨。
去年5月，中芯國際花1.2億美元向ASML定購了一臺EUV光刻機，原定於2019年底交付，但目前貨物正在“等待後續通知”。光刻機是製造芯片的核心設備，荷蘭廠商ASML是全球唯一一家頂級芯片製造設備——極紫外光（EUV）光刻機的供應商，EUV光刻機被業界認為是7nm以下製程芯片製造的必須設備。
ASML回應稱，該公司向一家中國客戶出口其最先進的設備之一的許可證已經到期，正在等待荷蘭政府批准新的許可證。ASML發言人Monique Mols解釋：“ASML只是在遵守法律，只有在擁有出口許可證的情況下才能夠將EUV設備運輸出去”。
根據荷蘭的規定，許可證需要八週時間才能經批准或拒絕。
中芯國際對媒體回應稱，公司的EUV還處於“紙面工作”階段，尚未進行相關活動。中芯國際強調，目前，公司的先進工藝研發進展順利，研發與生產的連接一切正常，客戶與設備導入均正常運作。
相比臺積電生產的7nm芯片，作為大陸最大的芯片製造企業，中芯國際目前工藝水平提升迅速，14nm已經試產，正邁向7nm和5nm。此前有報道稱，中芯國際的7nm工藝將於2020年底問世。(文／AI財經社 唐煜 編／趙豔秋）
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