05.16 7纳米光刻机有救了!中芯国际的EUV 7纳米光刻机明年交付!

日经新闻亚洲版今天报道称,中芯国际(SMIC)已经向 ASML 公司订购了一台 EUV 光刻机,单价 1.2 亿美元,预计在 2019 年初交付。/<font>


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看科技新闻的都知道芯片制造的难度之大,可以说难于上青天!而芯片制造最要最核心的设备就是光刻机和刻蚀机。然而光刻机又是芯片制造的重中之重。目前先进光刻机制造设备依然掌握在荷兰ASML手里。而荷兰ASML的光刻机10纳米已经非常成熟,7纳米芯片制造工艺设备已经交付使用,5纳米光刻机已经研制成功。/<font>

7纳米光刻机有救了!中芯国际的EUV 7纳米光刻机明年交付!

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同时,很多人疑问,中国公司能买先进的光刻机了?因为网上一直有传闻称中国公司因为瓦森那协定的关系一直被禁止采购先进光刻机,而只能买到低端落后的光刻机。对于这个问题,日经新闻报道的中芯国际采购荷兰EUV光刻机其实也不是什么新闻了。结合此前台媒电子时报采访过中 ASML 中国区总经理金泳璇,金泳璇称荷兰ASML光刻机并没有禁运问题,该公司对所有客户都一视同仁,不存在有钱买不到的问题。​/<font>




7纳米光刻机有救了!中芯国际的EUV 7纳米光刻机明年交付!

在刻蚀机方面,中微半导体刻蚀设备已核准了10到7纳米,并且实现了小批量重复订货。正在核准5纳米刻蚀。中微半导体是唯一进入台积电7nm制程蚀刻设备的大陆本土设备商。据悉,中微与台积电在28nm制程时便已开始合作,并一直延续到10nm制程,以及现在的7nm制程。未来,中微也将与台积电跨入下一世代5nm合作。此外,中微也将与联电展开14nm工艺制程的合作。/<font>




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