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试试日前，北京市公示了2019年度北京市科学技术奖各奖项评审结果，其中由通州区企业北京烁科中科信电子装备有限公司联合多家单位研发的“大束流离子注入机装备及工艺研发”项目荣获市科学技术进步一等奖。
位于通州台湖镇光机电一体化产业基地的北京烁科中科信电子装备有限公司是通州区重点扶持的高新技术企业之一，专注于集成电路领域离子注入机业务的高端装备研发，目前已拥有中束流离子注入机、大束流离子注入机、高能离子注入机和定制离子注入机四种产品，构建了较为系统的集成电路离子注入机谱系。
据了解，与传统高温掺杂工艺相比，离子注入提高了电路的集成度、开启速度、成品率和寿命，降低了成本和功耗，此次获奖项目则标志着我国在集成电路核心装备自主可控方面取得重大突破。
北京烁科中科信电子装备有限公司技术总监张丛：“目前，我们装备的大部分还是欧美日这些国家的企业的垄断，那么相当于我们的技术是在别人的手里。所以说，我们这个国产装备的突破，能够为我们的集成电路的良性健康发展建立一个更坚实的基础。”
来源：通州电视台
通州融媒体中心记者：寇京亚 漆永
责任编辑：刘天泽
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