微機械加速度計又稱mems加速度計，是微機械傳感器中最重要的一種，屬於慣性感器。智騰微電子生產的SiA200系列Mems加速度計主要用於航空、航海等中高端慣性領域，具有體積小、高可靠、高穩定等特點。
電容式mems加速度計SiA230外觀圖
傳感器由兩個差分電容組成，活動電極與兩側固定電極分別構成平行板電容C1和C2。。當y方向加速度為零時，懸樑的活動電極處在兩固定電極極板的中間位置時C1=C2，當y方向有加速度存在時，懸樑產生的變形使極板間的距離發生變化，於是有C1≠C2。兩平行板電容值之差△C與加速度成正比，因此只要測量△C就可以確定加速度的大小。
伺服電子線路主要由位移檢測電路、交流放大和同步解調電路、積分校正環節、靜電力矩器四部分組成。電壓信號變成直流和二倍頻兩項，再經過低通濾波器，濾除高頻項完成交流到直流的轉換。直流電壓經過放大後，一路直接輸出，另一路經反饋單元加至敏感質量塊，因此反饋電壓與位移信號成正比，所生成的靜電反饋力也與位移信號成正比，而方向與慣性力相反，當兩力平衡時，敏感質量回到初始位置，系統達到穩態。由於閉環迴路的增益很大，響應時間快，所以檢測質量的位移趨於零。
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