公平正义046008
谢谢您的问题。激光技术应用领域很广，光刻机的难度远远不止激光。
我国的激光产业。我国的激光产业与国外几乎同时起步，与国外同行差距很小，目前已经形成较为完善的产业链分布，激光主要用于工业加工和光通信，主要用途是3D打印、光纤传感器。在电子、半导体领域还要进一步推广激光高精密加工技术，发展相关制造业。
光刻机不是想造就能造好的。荷兰ASML光刻机世界一流，但是它的核心零部件和技术来自于美国等多国顶尖的科技公司，有大量顶级科技公司一起控股，ASML不是独属于荷兰的，全球技术集成的结果，光刻机每一个零部件工艺和精度要求非常高，包括物镜、激光器、光束矫正器，能量控制器等，全部要特级定制，不是激光技术好，就能解决一切问题。所以ASML放心把光刻机给我们，因为它相信我们复制不出来。
国产光刻机的努力。目前我国光科技水平与国外相差三四代，只能加紧努力。国产光刻机可以利用紫外光源，制造22nm分辨率芯片，下一步瞄准10nm。首先我们要有信心，我们能制造出光刻机，但是我们也需要中科院光电所、上海微电子设备公司等领头企业，更需要培育众多尖端制造企业，集成国产光刻机。在这之前，还是要处理好与ASML等科技公司的关系，避免被卡技术脖子。
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追科技的风筝
光刻机的三大部件：顶级的光源(激光系统)、高精度的镜头(物镜系统)、精密仪器制造技术(工作台）。一看就是小日本的活：它三项中独占光学镜头和精密制造，买个激光技术就齐活了！所以，小日本在三个高端光刻机企业中占有二家，尼康和佳能，原来的神是尼康！但荷兰阿斯美买下顶级激光企业、拉上蔡司、再拉上台积电三星等，反手又把小日本干掉了[捂脸][大笑][呲牙]
中国的激光在世界上也许属于中端或中高端水平。光学镜头属于低端及中端水平，你们谁用过国产单反相机镜头，也许就一二个人，光一，可能没什么人听说！精密制造及数控技术倒是妥妥的中低端水平！
所以，中国国产光刻机是90nm,低端水平。前几天有报导，光源及双工作台都准备验收，应该可以突破45nm向22、甚至16nm冲击！
中国只有激光技术世界第一，镜头超过德国与日本，机床也超过德国与日本，中国就能生产出世界第一的光刻机！现在不行，因为上述都对中国禁运！
紫水晶9795
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【从我国激光技术全球领先，看我国光刻机发展缓慢原因】
我们应该知道中国激光技术在全球领先，甚至排在第一位。1964年，钱学森院士提议取名为“激光”，从1961年中国第一台激光器到世界上第一所激光技术的专业研究所——中国科学院上海光学精密机械研究所的成立，而且在ICF激光驱动器、高功率化学激光器、半导体泵浦的固体激光器、超短超强激光器等等各方面都有进步，可以说我国的激光事业一直在不断进步。
可是激光≠光刻机技术
我们知道光刻机技术所需要的是——
- 需要最精密的技术。包括德国机械工艺、蔡司镜头和美国公司提供的光源。
- 涉及多个学科，包含了系统集成、精密光学、精密运动、精密物料传输、高精度微环境控制等多项先进技术。
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- 光刻工艺的具体步骤繁琐，需要通过硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序，不是简单的激光就能解决的。
- “拉同伙”，实际上ASML能够成功，是因为将三星、台积电、英特尔等等共同拉入ASML 公司。
为了解决激光，ASML 收购了全球领先的准分子激光器供应商 Cymer，为了解决光刻系统，以 10 亿欧元现金入股光学系统供应商卡尔蔡司。
可以说，ASML的成功不是一蹴而就的，激光≠光刻机。
我们的制约因素，不仅仅技术
其实，影响我们的不仅仅是技术，还有技术壁垒。从《瓦森纳协议》中的影响，让我们不得不受限于技术的“限制”。很多时候不是我们不想发展，而是很多技术它是不能够进来的，在这种情况下，我们的光刻机的发展受到了非常大的限制。
在技术赶不上，又被封锁的情况下，我们确实会在光刻机方面有所欠缺。当然，我们也期盼能够在各种技术的合力下，摆脱限制，得到发展，走出一条打破光刻机技术之路。
