在“中国芯”这个领域,中国与顶尖水平差距明显不过正在迎头赶上

3月3日晚央视大型纪录片《大国重器》第二季第六集《赢在互联》重磅播出,中微半导体设备(上海)有限公司的7纳米芯片刻蚀机荣幸被收录其中。

在“中国芯”这个领域,中国与顶尖水平差距明显不过正在迎头赶上

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在“中国芯”这个领域,中国与顶尖水平差距明显不过正在迎头赶上

《大国重器》里面提到的是蚀刻机(或者又叫刻蚀机),这种装置的制程中国已经量产了7纳米制程级别的,而且已经被台积电采购、用于生产,所以那些喊着吹牛的人就可以去歇着了。同时,5纳米制程的蚀刻机也在研发之中,听说进展相当顺利。

光刻机的难度要远远高于蚀刻机,这种装置中国距离世界顶尖水平还有很远,最先进的光刻机是荷兰ASML公司生产的,已经可以光刻7纳米以下制程的芯片了。但是中国可以自主生产的光刻机只有90纳米的制程,可以说差的很远。

相比之下,国内光刻机厂商则显得非常寒酸,处于技术领先的上海微电子装备有限公司已量产的光刻机中性能最好的是能用来加工90纳米芯片的光刻机,技术差距说是鸿沟都不为过,目前国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口,但是外国厂商由于各种限制还不一定“卖”,掏钱还要看人“脸色”。

在“中国芯”这个领域,中国与顶尖水平差距明显不过正在迎头赶上

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目前,光刻机领域的龙头老大是荷兰的ASML,并已经占据了高达80%的市场份额,垄断了高端光刻机市场,日本尼康在高端光刻机上完全被ASML击败,即便尼康的ArF光刻机售价仅为ASML的一半也无补于事。

目前,Intel、台积电、三星用来加工14/16nm芯片的光刻机都是买自ASML,格罗方德、联电以及中芯国际等晶圆厂的光刻机主要也是来自ASML,而中国的最高水平是上海微电子的90nm,可以看出中间的差距到底有多大。


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