微納小世界 感知大信息——記“西安青年科技之星”田邊

書山有路勤為徑,學海無涯苦作舟。西安交通大學機械工程學院田邊副教授堅持“微納小世界,感知大信息”的研究思路,經過十餘年對微納傳感技術的攻堅克難,作為第三完成人參與的“高動態MEMS壓阻式特種傳感器及系列產品”項目,解決了發動機、水下兵器等國防、航空航天以及石化領域中的壓力/加速度測量難題,榮獲2017年度國家技術發明獎二等獎。

微納小世界 感知大信息——記“西安青年科技之星”田邊

MEMS是一項革命性的新技術,廣泛應用於高新技術產業,是一項關係到國家的科技發展、經濟繁榮和國防安全的關鍵技術。在該領域我國相對於國際頂尖水平較為落後,且部分產品對我國實施禁運,嚴重製約了我國國防、軍工以及能源、化工等重要領域的科技發展。正是在此背景下,田邊副教授依然選擇了困難較大但是意義重大的微納傳感器為研究方向。

選擇出發,就從未停止,田邊在MEMS傳感器及微納製造領域一紮就是十年。壓阻式壓力傳感器存在靈敏度與線性度無法兼顧的固有矛盾問題,非線性變形比較大,結構的固有頻率提高難,靈敏度等缺點限制了壓阻式傳感器的發展,所以克服其缺點是設計壓阻式系列傳感器的一項重要工作。如何解決靈敏度、線性度和固有頻率的制約矛盾以提高傳感器測量精度,一直是MEMS壓阻式傳感器行業存在的技術難題。與此同時,針對航空發動機的超高溫溫度測量難題,進行MEMS熱電偶薄膜研究,解決了一直困擾航發高溫測量中“測不到、測不準”的問題。“解決系列問題,需要抓住主要矛盾。”十幾年來田邊一直專注於該領域。

功夫不負有心人, 2007年開始從事MEMS微納傳感器相關研究以來,田邊發表相關SCI/EI論文47篇,授權發明專利9項,主持並參與國家及省部級項目數項,包括主持國家青年自然基金1項、國家重點基金項目子課題1項、863子課題1項,並參與973、863、重大專項等項目研究。獲得國家技術發明獎二等獎、陝西省科學技術獎一等獎、蘇州吳江區科技領軍人才、西安市機械學會青年學術貢獻獎、中國(國際)傳感器創新大賽創新設計類別三等獎、中國(國際)傳感器創新創業大賽創新設計類別二等獎。談起自己所獲的成績,他仍然謙遜地說:“我還需要繼續努力。”


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