同花顺金融研究中心12月16日讯，有投资者向嘉欣丝绸提问， 耐威科技 子公司瑞典Silex的MEMS在手订单饱满，生产排期已经超过14个月，请问公司子公司芯动科技在MEMS方面是否有布局？
公司回答表示，感谢您对公司的关注，芯动科技专注于高端MEMS芯片生产，产品主要应用在高端工业、国防军工等领域。
公司主营业务包括MEMS芯片的工艺开发和晶圆制造，MEMS业务的增长得益于MEMS芯片下游应用市场的高景气度及公司在MEMS芯片工艺开发及晶圆制造方面的全球领先竞争优势。
公司持有华夏芯（北京）通用处理器有限公司22.7%股份。此外，公司间接持有全球领先的MEMS芯片制造商赛莱克斯98%的股权。 在MEMS方面，Silex掌握了硅通孔、晶圆键合、深反应离子刻蚀等多项在业内具备国际领先竞争力的工艺技术和工艺模块。Silex拥有目前为业界最先进的硅通孔绝缘层工艺平台(TSI),通过MEMS技术在硅晶片上形成电介质隔离区域，利用DRIE实现刻蚀高宽比和垂直侧壁，在硅片中形成沟槽并延伸贯通整个硅片，经过TSI处理后的晶圆将单晶硅用高质量的绝缘沟槽进行隔离。
嘉欣丝绸参股40%芯动科技
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