02.03 現代光學工業之花:光刻機技術早晚被中國攻下

位於ASML光刻機中心的鏡頭,由20多塊鍋底大的鏡片串聯組成。鏡片得高純度透光材料+高質量拋光。國產光刻機使用的鏡片,得數萬美元一塊向外採購。因為ASML的鏡片是蔡司技術打底,鏡片材質做到均勻,需幾十年到上百年技術積澱。

“同樣一個鏡片,不同工人去磨,光潔度相差十倍。”中國專業團隊在德國看到並發現,拋光鏡片的工人,祖孫三代在同一家公司的同一個職位,由此可見,追趕光刻機技術的難度。外國人曾經嘲笑我們“給你們全套圖紙,也做不出來!”

現代光學工業之花:光刻機技術早晚被中國攻下

今非昔比,荷蘭ASML最新光刻機決定賣給中國,因為他們發現中國太強大了,居然有了自己的光刻機,假以時日早晚超越,與其不如,等到中國光刻機上市賣成白菜價,荷蘭ASML將沒有後悔藥吃。

光刻機被稱為現代光學工業之花,製造難度非常大,全世界只有少數幾家公司能夠製造,為什麼會這麼難呢,除了上面的例子,還有更難的?

即便擁有頂級的鏡頭和光源,沒極致的機械精度也是白搭。光刻機裡有兩個同步運動的工件臺,一個載底片,一個載膠片。兩者需始終同步,誤差在2納米以下。兩個工作臺由靜到動,加速度跟導彈發射差不多。專業人士形容說:它們相當於兩架大飛機從起飛到降落,始終齊頭並進。一架飛機上伸出一把刀,在另一架飛機的米粒上刻字,不能刻壞了。

現代光學工業之花:光刻機技術早晚被中國攻下

位於光刻機中心的鏡頭,由20多塊鍋底大的鏡片串聯組成。鏡片得高純度透光材料+高質量拋光。SMEE光刻機使用的鏡片,得數萬美元一塊。

ASML的鏡片是蔡司技術打底。鏡片材質做到均勻,需幾十年到上百年技術積澱。“同樣一個鏡片,不同工人去磨,光潔度相差十倍。”SMEE總經理賀榮明說,他在德國看到,拋光鏡片的工人,祖孫三代在同一家公司的同一個職位。

小夥伴們,光刻機真有那麼複雜麼?中國有信心弄出來麼,一旦成功,荷蘭ASML出品的光刻機就得涼,因為白菜價。


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