03.07 荷兰光刻机抵达深圳厂,中芯国际:常规设备导入,非EUV

日前中芯国际深圳工厂从荷兰进口了一台大型光刻机,但这是设备正常导入,用于产能扩充,并非外界所称的EUV光刻机。据悉,EUV光刻机主要用于7nm及以下制程。中芯国际目前量产的最先进制程为第一代FinFET 14nm,已贡献2019年第四季度1%营收。

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