單晶爐概況

一,單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。


二,單晶爐主要構成

爐體

電氣控制櫃

加熱變壓器

電源濾波櫃

主真空泵,副室真空泵,真空管道

液壓系統

氬氣系統

冷卻水系統


爐體部分:

提拉頭/機頭

副爐室

爐蓋

爐筒

爐底盤

坩堝驅動機構


提拉頭/機頭:

晶升電機,晶轉電機及其減速機構

卷輪箱

磁流體

編碼器

集流環


三,單晶爐型號定義

單晶爐型號有兩種命名方式:

一種為投料量

一種為爐室直徑


四,單晶爐的市場規模

據測算,單晶爐設備市場規模在55億元左右。


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