一,單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。
二,單晶爐主要構成
爐體
電氣控制櫃
加熱變壓器
電源濾波櫃
主真空泵,副室真空泵,真空管道
液壓系統
氬氣系統
冷卻水系統
爐體部分:
提拉頭/機頭
副爐室
爐蓋
爐筒
爐底盤
坩堝驅動機構
提拉頭/機頭:
晶升電機,晶轉電機及其減速機構
卷輪箱
磁流體
編碼器
集流環
三,單晶爐型號定義
單晶爐型號有兩種命名方式:
一種為投料量
一種為爐室直徑
四,單晶爐的市場規模
據測算,單晶爐設備市場規模在55億元左右。
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