疫情效應:EUV光刻機沒到,三星3nm量產推遲1年

(文/觀察者網 一鳴)4月6日,DigiTimes報道稱,三星3nm工藝量產時間可能已經延期至2022年。

據報道,三星原計劃在2021年初量產3nm,但新冠疫情蔓延,使得這一計劃不得不延期一年。報道援引人士指出,這並非工藝製造上的延遲,而是因為極紫外EUV光刻機等關鍵設備在物流上出現了問題。

上述媒體指出,當前疫情對物流和交通運輸服務造成了影響,導致3nm工藝所需的EUV光刻機和其他關鍵生產設備的交付延期,進而導致了量產的時間推遲。

三星早在去年就宣佈將在3nm節點放棄鰭式場效晶體管(FinFET),轉向環繞柵極晶體管(GAAFET)工藝,3nm GAE工藝號稱可將核心面積減少45%,功耗降低50%,性能提升35%。

疫情效應:EUV光刻機沒到,三星3nm量產推遲1年

推遲3nm工藝生產的還不止三星一家,三星最大對手臺積電也因為疫情的影響,導致半導體設備安裝無法按期完成,使得原計劃在今年6月份風險試產的3nm FinFET工藝,推遲到了10月。

而相對應的,臺積電南科18廠的3nm生產線的完工也將順延一個季度,這也讓原本10月份安裝設備的計劃推遲到了2021年初。

作為目前全球最先進EUV光刻機的唯一供應商,荷蘭阿斯麥爾(ASML)此前下調了今年一季度的業績預期,由2019年第四季度及全年的業績報告中預計的31億歐元到33億歐元之間,下調到了23億歐元至24億歐元之間。

阿斯麥爾稱,調整今年一季度的業績預期,主要還是受當前疫情的影響,影響主要體現在三個方面。一是部分光刻機的出貨延遲,導致相應收入確認延遲;二是供應鏈在一季度出現了問題、三是部分廠商對他們的交付能力存在擔憂,為了加快交付進度,部分廠商甚至要求他們在完成正常的工廠驗收之前就交付。

雖然下調了一季度的營收預期,但阿斯麥爾的總裁兼CEO彼得·溫寧克(Peter Wennink)表示,當前疫情對他們製造能力造成的影響還比較有限,到目前為止,他們還沒有看到今年光刻機需求下滑的跡象。

三星和臺積電都訂購了阿斯麥爾的EUV光刻機。2018年5月,中芯國際也向荷蘭阿斯麥爾(ASML)訂購了一臺最新型的EUV光刻機,價值高達1.5億美元,原計劃在2019年初交付。

不過,由於美國方面阻擾,這項交易至今仍未完成。

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