据媒体1月6日最新报道,荷兰半导体设备供应商ASML表示,无论有无美国发放的极紫外光光刻机(EUV)销售许可证,ASML都希望对华继续供应半导体设备,并希望2020年增加其产品在中国市场的销售份额。据了解,在EUV光刻机领域,ASML是全球唯一能生产EUV的企业,这家荷兰企业常保持与中国芯片制造公司的生意往来。
据报道,早在2018年5月,我国半导体制造商中芯国际就向荷兰ASML订购了首台EUV光刻机,价值1.2亿美元,并且原计划于2019年年初交付。然而,在临近交货时间是,ASML的工厂突然发生了大火,随后便延迟了EUV光刻机的交付,预计将在2020年年中交付。
2019年11月报道指出,ASML发言人莫尼克·莫尔斯(Monique Mols)表示,根据瓦圣纳协议(规定出口装运EUV需要出口许可证),ASML出口EUV到中国需取得荷兰有关部门的出口许可。目前此出口许可申请已经提交,正在等待相关部门的核准。数据显示,中国为 ASML 第二大营收来源国,占其总营收比重高达20%,仅次于韩国的35%。据此,也难怪这家荷兰企业无视美国的反对,坚持争取其在中国市场的订单。
此外有分析指出,美国干扰带来的影响似乎有限。资料显示,EUV光刻机是生产 7nm 以下芯片制程才所必要的技术。目前,中芯国际正在量产的芯片规格为 14nm的产品,因此,即使眼下还没有光刻机在手,生产几乎不会有太大阻碍。不过,此前已有消息指出,随着我国"芯片大户"华为旗下主力芯片厂海思加速将芯片产品提升至7nm和5nm先进制程。中芯国际也打算在7nm和5nm继续追赶。
去年11月初,曾有媒体消息指出,美国有关部门曾鼓励美国科技业界在国内重建半导体生产线。分析称,在此前有过断供海外企业的举动下,美国或许是在担忧将来某一天美企也遭遇断供。