常用的有機廢氣處理方法有光氧催化、低溫等離子、微波催化、催化燃燒、活性炭吸附、生物藥液降解等，這些有機廢氣因所處行業、濃度不同適合於不同的處理方法。
光氧催化氧化
利用特製的高能高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，使有機或無機高分子化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，與臭氧進行反應生成低分子化合物，如CO2、H2O等。投資費用低，適用範圍廣，淨化效率高，操作簡單，除臭效果好，設備運行穩定，佔地小，運行費用低，隨用隨開，不會造成二次汙染。
吸附法
利用吸附劑的吸附功能使有機廢氣物質由氣相轉移至固相，適用於處理低濃度，高淨化要求的有機廢氣。淨化效率很高，可以處理多組分有機廢氣，吸附劑費用昂貴，再生較困難，要求待處理的有機廢氣有較低的溫度和含塵量。
低溫等離子體
等離子體內部產生富含極高化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的汙染物質與這些具有較高能量的活性基團發生反應，最終轉化為CO2和H2O等物質，從而達到淨化廢氣的目的。適用範圍廣，淨化效率高，尤其適用於其它方法難以處理的多組分有機廢氣，設備佔地面積小；電子能量高，幾乎可以和所有的有機廢氣分子作用；運行費用低；反應快、停止十分迅速，隨用隨開。但對含水、含塵、有機廢氣易爆炸，一次性投資費高。
催化燃燒法
又稱為（RTO）在高溫下有機廢氣物質與燃料氣充分混和，在催化劑（三氧化二鋁或二氧化鈦）實現完全燃燒。適用於處理高濃度、小氣量的可燃性氣體，淨化效率高，有機廢氣物質被徹底氧化分解，但設備易腐蝕，消耗燃料，處理成本高，易形成二次汙染。
水吸收法
（噴淋塔）利用有機廢氣中某些物質易溶於水的特性，使有機廢氣成分直接與水接觸，從而溶解於水達到去除目的。適用於水溶性、有組織排放源的有機廢氣。工藝簡單，管理方便，設備運轉費用低，但產生二次汙染，需對洗滌液進行處理；淨化效率低，應與其他技術聯合使用，對有機廢氣處理效果差。
藥液吸收法利用有機廢氣中某些物質和藥液產生化學反應的特性，去除某些有機廢氣成分，適用於處理大氣量、高中濃度的有機廢氣。能夠有針對性處理某些有機廢氣成分，工藝較成熟，淨化效率不高，消耗吸收劑，易形成而二次汙染。
催化氧化反應塔內裝填特製的固態複合填料，填料內部複合催化劑。當有機廢氣在引風機的作用下穿過填料層，與通過特製噴嘴化劑在固相填料表面充分接觸，並在催化劑的催化作用下，有機廢氣中的汙染因子被充分分解。適用範圍廣，尤其適用於處理大氣量、中高濃度的廢氣，對疏水性汙染物質有很好的去除率。佔地小，投資低；管理方便，即開即用；耐衝擊負荷，不易被汙染物濃度及溫度變化影響。需消耗一定量的藥劑，運行成本較高，催化劑操作不當會中毒，存在二次汙染。
光化學利用惡臭物質對光子的吸收而發生分解，同時反應過程產生的羥基自由基、活性氧等強化性基團也能參與氧化反應，從而達到降解惡臭物質的目的。適用於濃度較低，且能吸收光子的汙染物質，可以處理大氣量的、低濃度的有機廢氣，操作極為簡單，佔地面積小。對不能吸收光子的汙染物質效果差，對於成分複雜的廢氣無法達到預期處理效果。
光氧催化是光化學和催化氧化方法的一種升級，它把光化學和催化氧化結合起來，處理效果更佳，而且不存在催化劑中毒及對成分複雜的廢氣無法處理的缺陷，而且它的運營成本更低，因為有催化劑的作用在中低溫的情況下也能進行，所以它的能耗也更低。對VOCS氣體的異味，甲苯、甲醛、二甲苯等氣體處理效率能達到96%以上。韻藍廢氣處理研究院經過十年左右的科研攻關及數千的案例進行分析比較後發現，針對VOCS，光氧催化是目前最有效、最節省成本的一種廢氣處理方法，特別是對濃度在100－800mg/m3的廢氣能完全處理掉。
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