有機廢氣淨化燃燒氧化法是基於廢氣中有機化合物可以燃燒氧化的特性，其目的是：通過燃燒氧化將廢氣中可以氧化的組分轉化為無害物質，在廢氣中含碳氫化合物的情況下，即轉化為CO
2和H2O，並釋放出熱量。
蓄熱氧化技術RTO(Regenerative Thermal Oxidizer,簡稱RTO)把有機廢氣加熱到760℃以上，使廢氣中的揮發性有機物（VOCs，Volatile Organic Compounds）在燃燒室中氧化分解成CO2和H2O ，淨化效率高達98%。
氧化產生的高溫氣體流經特製的陶瓷蓄熱體，使陶瓷體升溫而“蓄熱”，下個過程是廢氣從已經“蓄熱”的陶瓷經過，將陶瓷的熱量傳遞給廢氣，有機廢氣通過陶瓷作為換熱器載體，反覆進行熱交換，從而節省廢氣升溫的燃料消耗，降低運行成本，熱回收效率高達95%。
在中高濃度的條件下，RTO可以對外輸出餘熱，通過蒸汽、熱風、熱水等形式加以利用，在滿足環保目標的同時，實現經濟效益。
三床式RTO的淨化效率≥98%，是目前市場上單臺淨化效率最高的VOCs治理設備。
三床式設計原則：
保證≥98以上的淨化效率，需要RTO燃燒室中的VOCs完全充分氧化反應。VOCs完全充分氧化反應需要VOCs分子與氧氣在反應溫度下充分接觸一定的時間，也就是在充分供氧的情況下，燃燒氧化反應的反應溫度（Temperature）、時間（Time）、湍流（Turbulence）的3T條件。3T條件具體指出了熱力燃燒的必要條件。
同時，三床式RTO相對於兩床式RTO增加了一個吹掃床體，保證在閥門切換時已經進入RTO蓄熱床，未進行氧化反應的廢氣能夠吹掃乾淨，重新進入氧化室進行氧化分解反應。
三床式RTO設計保證VOCs燃燒氧化反應能夠充分進行，增加一個吹掃蓄熱床保證未反應的VOCs重新進入氧化室進行氧化分解反應。通過以上設計，RTO的淨化效率能夠達到≥98%。
案例：三室RTO設備安裝在化工客戶廠區
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