由于国家集成电路大基金二期的成立，国内半导体材料企业近期站上风口。半导体材料细分领域关键的除了大硅片、光刻胶之外，还有电子特种气体及抛光材料。今天我们来看一下这两方面的国产替代机会。

电子特种气体

我们先普及下概念，电子气体是指用于半导体及其它电子产品生产的气体。与传统的工业气体相比，电子气体特殊在气体的纯净度要求极高，所以也称为电子特种气体。电子特气应用于集成电路制造的多个环节，主要包括氮气、氢气等大宗气体及沉积、掺杂、刻蚀等工艺气体。

电子特气2018年全球半导体原材料细分领域产值为42.7亿，规模在细分领域中排第二位。

▲电子特气在集成电路制造多个环节具有重要作用

电子特种气体由于其品种繁多，在半导体制程工艺中覆盖广泛，因此成为衡量半导体技术的核心产品。按照在集成电路中的作用可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管用气体、刻蚀气体、化学气相沉积（CVD）用气体、载运稀释气体七类。目前，2017年全球特种气体市场国外占比88%，国内气体公司仅占12%。

▲电子特气市场格局

与国外气体公司相比，大部分国内气体公司的供应产品仍较为单一，用气级别不高，尤其在集成电路、显示面板、光伏能源、光纤光缆等高端领域。

华特股份：

华广东华特气体股份有限公司成立于 1993 年，是一家致力于特种气体国产化，并率先打破极大规模集成电路、新型显示面板等尖端领域气体材料进口制约的民族气体厂商。公司为国内首家打破多款特种气体进口制约的气体公司，并率先实现了近 20 个产品的进口替代，是中国特种气体国产化的先行者。其中， Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne和 Kr/F/Ne 等 4 种混合气于 2017 年通过全球最大的光刻机供应商 ASML 公司的产品认证。目前，公司是我国唯一通过 ASML 公司认证的气体公司，亦是全球仅有的上述 4 个产品全部通过其认证的四家气体公司之一。

公司有望明年在科创板上市。

国内具有相关业务上市公司：

雅克科技（002409）公司是国内磷系阻燃剂龙头，通过内生及外延不断扩展公司业务范围，从阻燃剂延伸至LNG保温材料，并通过收购华飞电子、科美特以及 UP Chemical 全面进入高端电子材料领域。大基金持有公司 5.73%股份，公司子公司UP Chemical 产品 IC 前驱体、华飞电子产品球形硅微粉以及科美特产品电子特气等下游均为半导体领域，公司作为大基金在上市公司层面半导体材料领域加持的首家材料企业，在子公司产品的导入以及后续的拓展方面将受益于大基金的平台加速发展，国产化替代空间巨大。

CMP抛光材料

化学机械抛光技术(CMP) 是集成电路制造中获得全局平坦化的一种手段。抛光工艺当中最主要的两个关键辅料是抛光垫和抛光液。抛光垫是抛光技术工艺的核心，也是晶圆芯片制程中“卡脖子”的关键材料。

▲CMP工艺原理图

全球市场上，CMP抛光垫市场主要供应商为美国陶氏化学DOW，市场份额高达80%，基本形成垄断，排名第二的是美国Cabot公司，国内企业在该领域没有话语权。抛光液方面，长期以来， 全球化学机械抛光液市场主要被美国和日本企业所垄断。国内方面，安集电子实现突破，与国外巨头相比， 我国抛光液市场国产化程度较低且产品主要用于中低端领域。

国内抛光垫行业龙头企业为鼎龙股份（300054），抛光液龙头企业安集科技（688019）。鼎龙股份（300054）通过6年的研发建成了国内唯一，国际先进的集成电路芯片抛光垫研发基地。目前，公司产品已实现生产且销售量将逐步提升，主要技术指标达到市场主流产品要求，公司有望延续公司过往重大项目经验，打破行业垄断、实现国产替代。

安集科技今年上市科创板，公司自成立以来一直深耕化学机械抛光液领域，主持和参与完成了“90-65nm集成电路关键抛光材料研究与产业化”、“45-28nm集成电路关键抛光材料与产业化”、“高密度封装TSV抛光液和清洗液研发与产业化”、“CMP抛光液及配套材料技术平台和产品系列”等国家02专项项目。同时，公司产品在主要技术指标方面已经达到同等水平，并拥有完整自主知识产权。公司产品具有本土化、定制化、一体化的优势，积累了包括中芯国际、长江存储、华虹宏力、华润微电子、台积电等优质客户。

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