典型的半導體傳感器
(1)半導體氣敏傳感器。半導體氣敏傳感器是用來測量氣體的類別、濃度和成分的傳感器，主要用於可燃氣體防爆警器、有毒氣體監測器、氣體濃度定量監測器等，在防災、環境保護、節能、工程管理、自動控制等方面有廣泛的應用。半導體氣敏傳感器利用半導體與氣體接觸時電阻或功函數發生變化這一特性檢測氣體，分為電阻式與非電阻式兩種類型。
數字概念
電阻式採用金屬氧化物材料製備，有多孔燒結件、厚膜、薄膜等形式。根據半導體與氣體的相互作用是發生在表面還是體內，又分為表面控制型與體內控制型。這類傳感器可檢測甲烷、丙烷、氫、一氧化碳等還原性氣體，氧、二氧化氮等氧化性氣體，胺類和水蒸氣等具有強吸附力的氣體。
非電阻式氣體傳感器利用氣體吸附和反應時引起的功函數變化來檢測氣體，可分為金屬－半導體結二極管型傳感器(利用金屬與半導體界面上吸附氣體時，二極管整流特性的變化)、MOS二極管型傳感器(採用MOS結構，通過c－v特性的漂移檢測氣體)和MOS FET型傳感器(通過叫OSFET的閾電壓變化檢測氣體)。
(2)半導體溫度傳感器。半導體溫度傳感器是用來測量環境溫度的傳感器。半導體溫度傳感器分為接觸型和非接觸型兩大類。接觸型又分為熱敏電阻與PN結型溫度傳感器。
半導體載流子的濃度與溫度有關，隨著溫度的變化，半導體感溫器件的電阻會發生較大的變化，這種器件稱為熱敏電阻。PN結溫度傳感器是一種利用半導體二極管、三極管的特性與溫度的依賴關係製成的溫度傳感器。
非接觸型溫度傳感器可檢出被測物體發射的電磁波能量。傳感器可以是將放射能直接轉換為主能的半導體物質，也可以先將放射能轉換為熱能，使溫度升高，然後將溫度變化轉換成電信號可檢出。
(3)半導體溼敏傳感器。溼度是指大氣中水蒸氣的含量，通常採用絕對溼度和相對溼度兩種方法來表示。利用水分子易於吸附在固體表面並滲透到固體內部的特性，可以製成溼敏傳感器。目前比較成熟的溼敏傳感器有氯化鋰溼敏電阻、半導體陶瓷溼敏電阻。
氯化鋰溼敏電阻是利用吸溼性鹽類潮解，離子的導電率產生變化而製成的測溼元件，由引線、基片、感溼層和電極組成。半導體陶瓷溼敏電阻通常是用兩種以上的金屬氧化物半導體材料布燒結而成的多孔陶瓷，它的電阻率隨溼度的變化而變化，能連續、穩定地測量溼度。
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