中國光刻機技術和ASML的差距有多大?至少10年以上

眾所周知,這幾天大家又為中芯國際以及中國高端芯片製造擔憂起來了,原因是中國芯國際向ASML採購的一臺極紫外光刻機,可能生變了。因為ASML已向荷蘭當局申請出口許可4個月了,一直沒有得到許可,導致ASML無法按時交貨。

而這臺極紫外光刻機是中國唯一一臺極紫外光刻機,也是製造高端芯片必不可少的設備,目前只有ASML能夠生產。

中國光刻機技術和ASML的差距有多大?至少10年以上

於是有人問,目前中國刻蝕機能夠生產出5nm的來了,那麼國產光刻機的技術究竟在什麼水平,和ASML相比,還差多少,能不能短時間內追上來,從而不再依賴ASML?

實話實說,中國目前的光刻機技術要和ASML相比的話,至少有10年以上的差距,短時間內是追不上的,所以還是想辦法把這臺極紫外光刻機趕緊拉回來才是正事,國產短時間內是沒戲的。

我們知道在光刻機領域,有人根本ASML的技術並結合芯片製造,分為四個檔次,分別是超高端,高端,中端,低檔。

中國光刻機技術和ASML的差距有多大?至少10年以上

分別對應的節點分別5/7nm工藝、7-28nm工藝、28-65nm工藝,65-90nm工藝。目前ASML的產品覆蓋所有檔次,而nikon的產品停留在28nm這個節點,cannon和smee(上海微電子)停留在90nm這個節點。

意思就是中國的最高技術是90nm,生產出來的光刻機處於低端,只能生產90nm的芯片,而在90nm之後,還有65nm,45nm,32nm,22nm,14nm,10nm,7nm,5nm。

而這些節點技術,有好幾個臺階要上,首先是45nm的以階,再到22nm的臺階,再到10nm臺階,再到7nm的臺階,真的是一步一個坎,有些坎幾年都未必能夠更新出一代來。

中國光刻機技術和ASML的差距有多大?至少10年以上

所以說,從目前的這個情況來看,國產光刻機技術落後ASML至少是10年以上,甚至說10年都算是少的了,可以說是萬里長征才開始第一步。

當然了,正如大家所想,再難也得研發,否則就會被人卡脖子,目前這臺極紫外光刻機不就是如此麼?用於生產5/7/8nm芯片的,是中芯國際用於下一代技術研發的,現在被卡了,可能會給中國高端芯片製造拖後腿了。


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